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超声喷雾热分解法制备ZnO透明导电薄膜的研究.pdf

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文档介绍:∧さ难芯南开大学研究生院鑫室匡壑题熬援王堂谴±信息撞丕型堂堂院学科专业丝皇王堂皇固签电王堂堂鱼王挝魁皇矍往:隆毖垡评阅人陵左垡:嫠垂窒恐二灰荒晁脑论文作者指导教师申请学位培养单位研究方向答辩委员会主席中图分类号:学校代码:密级:公开.
南开大学学位论文使用授权书年南开大学研究生学位论文作者信息根据《南开大学关于研究生学位论文收藏和利用管理办法》,我校的博士、硕士学位获得者均须向南开大学提交本人的学位论文纸质本及相应电子版。本人完全了解南开大学有关研究生学位论文收藏和利用的管理规定。南开大学拥有在《著作权法》规定范围内的学位论文使用权,即:换竦谜弑匦氚垂娑ㄌ峤谎宦畚包括纸质印刷本及电子版?梢圆捎糜坝⑺跤』蚱渌粗剖侄伪4嫜芯可宦畚模并编入《南开大学博硕士学位论文全文数据库》;=萄Ш涂蒲心康模?梢越üǹ的学位论文作为资料在图书馆等场所提供校内师生阅读,在校园网上提供论文目录检索、文摘以及论文全文浏览、下载等免费信息服务;萁逃坑泄毓娑ǎ峡4笱蚪逃指定单位提交公开的学位论文;宦畚淖髡呤谌ㄑO蛑泄萍夹畔⒀芯克椭泄术期刊馀电子出版社提交规定范围的学位论文及其电子版并收入相应学位论文数据库,通过其相关网站对外进行信息服务。同时本人保留在其他媒体发表论文的权利。非公开学位论文,保密期限内不向外提交和提供服务,解密后提交和服务同公开论文。论文电子版提交至校图书馆网站:://..:本人的学位论文是在南开大学学习期间创作完成的作品,并已通过论文答辩;提交的学位论文电子版与纸质本论文的内容一致,如因不同造成不良后果由本人自负。本人同意遵守上述规定。本授权书签署一式两份,由研究生院和图书馆留存。作者暨授权人签字:焦室巨论文题目超声喷雾热分解法制各该鞯嫉绫∧さ难芯姓名焦宝臣学号论文类别博士√硕士专业学位口高校教师口同等学力硕士口院/系/所‘:南开大学光电子薄膜器件与技术研究所备注:是否批准为非公开论文注:本授权书适用我校授予的所有博士、硕士的学位论文。由作者填写皇搅椒签字后交校图书馆,非公开学位论文须附《南开大学研究生申请非公开学位论文审批表》。答辩日期学历硕士口否
南开大学学位论文原创性声明非公开学位论文标注说明焦室臣本人郑重声明:所呈交的学位论文,是本人在导师指导下进行研究工作所取得的研究成果。除文中已经注明引用的内容外,本学位论文的研究成果不包含任何他人创作的、已公开发表或者没有公开发表的作品的内容。对本论文所涉及的研究工作做出贡献的其他个人和集体,均已在文中以明确方式标明。本学位论文原创性声明的法律责任由本人承担。学位论文作者签名:年疽潮碇刑钚茨谌菪氪蛴根据南开大学有关规定,非公开学位论文须经指导教师同意、作者本人申请和相关部门批准方能标注。未经批准的均为公开学位论文,公开学位论文本说明为空白。:限制★可少于:秘密★年缮儆:机密★年缮儆
中文摘要乙酸提供【直鹩隱】和啃纬梢慌湮缓退呐湮坏穆绾衔铮筟】和提出冰乙酸电离出的】可与啃纬梢慌湮坏穆绾衔铩緕】,有利于】具有相似的状态,故而能提高的掺入效率。调节不同的粼颖龋突具有绒面形貌的该鞯嫉缪趸薄膜已成为硅薄膜太阳电池的重要透明电极材料。目前主要采用溅射法和ǔ粱哂腥廾嫘蚊驳∧ぃň嬖谥圃斐杀靖叩娜钡恪R虼丝U沟统杀局圃焓视诠璞∧さ绯用甌的成膜方法已迫在眉睫韭畚牟捎玫统杀镜某缥砣确纸琔ㄖ票赋鼍哂辛己锰匦缘腪.⒔作为前电极应用于硅薄膜太阳电池中。具体研究内容和创新工作如下:第一,对ǔ粱齔薄膜进行了深入分析。从最佳沉积的J饺胧郑通过对生长温度、喷射距离和载气流量的系列实验,得出本论文实验用统实现粱J叫杈弑傅某粱跫生长温度妗⑴缟渚嗬.、载气流量。在此基础上,深入研究了前驱液特性对ㄖ票竄薄膜的影响。以水和无水乙醇组成的混合溶剂,通过控制混合溶剂中水与无水乙醇的体积比,可实现对超声雾化所得小液滴尺寸的控制,以实现较高的薄膜生长速率。经过理论分析,引入液态离子之间络合反应的概念;反应物中离子之间匹配的络合配位,是提高金属离子利用率、避免生成沉淀的关键。进而就薄膜的生长。提出基于J降腢法沉积条件优化是高速制备优质氖滓L件;明确了前驱物的特性亦是优化薄膜不可或缺的重要因素。两者的协调配合是获得优质透明导电薄膜的重要关键。为ㄖ票赶喙夭牧霞龅骺馗相关影响因素以尽快获得工艺优化条件的指导性实验结论。第二,详细研究了粼覼∧さ纳ぬ匦浴L岢銮扒褐斜得电学特性较好的∧に枰1宜岬牧浚月悴煌琁掺杂对络合配位的需要。为ㄖ票赶嘤Σ牧咸峁┝擞行Р粼拥氖笛榉椒ā∧ず穸仁笛楸砻鳎核鍵薄膜厚度增加,Я3叽缭黾樱Ы散射降