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上的圆形外侧突出件。[0048]凸轮全闭止动件(规制壁)33布置在凸轮槽23的凸轮全闭侧上,以便将内侧部31和外侧部32彼此连接,从而规制两个球轴承24使其不向凸轮全闭侧进一步移动。[0049]开口(缺口)34配置在凸轮槽23的凸轮全开侧上,并且沿与凸轮槽23纵向方向相对应的旋转方向朝向板状凸轮3的外侧开放。开口34提供用于在接附时将阀子组件插入凸轮槽23的阀子组件端口。阀子组件包括提升阀1、阀杆2、阀体12、球轴承24、枢转销25、弹簧26等。[0050]被全开止动件19停止的全开止动件部一体地配置在板状凸轮3或连动部件(诸如输出齿轮轴14和输出齿轮17)上。连动部件被连接以便与板状凸轮3—体地旋转。[0051]如图2所示,筒状轴承保持件35与阀体12—体地形成,并且保持轴承11的周边,该轴承沿轴向方向可滑动地枢转阀杆2。[0052]如图4所示,外壳18具有容置并且保持马达M的马达壳体36,和容置减速机构、转换器和阀杆2的齿轮箱37。[0053]外壳18具有开口,致动器在接附时通过该开口插入齿轮箱37。该开口通过传感器覆盖件38关闭。[0054]如图2所示,筒状轴承保持件42布置成与外壳18底部(S卩,齿轮箱37底部)相邻。筒状轴承保持件42布置成沿周向方向围绕双列球轴承41的外周。筒状轴承保持件42具有向外侧开放的开口。该开口通过盖部43气密地关闭。[0055]全开止动件19具有与工具接合的头部,和从头部向板状凸轮3或连动部件延伸的轴部。例如,全开止动件19可以由能够控制凸轮全开位置的调节螺钉制成。全开止动件19通过旋拧轴部固定,以便从外壳18的齿轮箱37的外壁部的端面突出。此外,全开止动件19不仅作为板状凸轮3的全开位置止动件,而且作为阀的全开位置止动件,例如,该全开位置止动件限定提升阀I的全开位置(完全提升量)和阀杆2的完全行程量。[0056]致动器具有马达M、小齿轮15、中间齿轮16、输出齿轮17和复位弹簧44。马达M通过接受电力供应而产生旋转动力(转矩)。小齿轮15固定到马达M的马达轴13上。中间齿轮16通过与小齿轮15啮合而旋转。输出齿轮17通过与中间齿轮16啮合而旋转。复位弹簧44使提升阀I从阀打开位置返回全闭位置。[0057]金属套环28布置到输出齿轮轴14的周边,用于以预设距离将板状凸轮3与输出齿轮17分离。此外,双列球轴承41的每个内座圈和筒状轴衬45压配合到输出齿轮轴14的周边。[0058]输出齿轮17由合成树脂材料一体地成形。筒状磁体转子46—体地布置在输出齿轮17的内周上。此外,输出齿轮17具有径向外侧上而非磁体转子46的部分筒状的最大外直径部。最大外直径部具有多个突出齿(输出齿轮齿47),该多个突出齿在具有预设角度的扇形中与中间齿轮16啮合。[0059]由永磁体制成的传感器磁体48固定在磁体转子46的内周上。此外,输出齿轮杆49镶嵌模制在磁体转子46上。输出齿轮杆49具有装配孔,该装配孔具有限制输出齿轮轴14以避免空转的横跨宽度平面。从而,输出齿轮17通过输出齿轮杆49沿轴向方向固定到输出齿轮轴14的末端周边,从而不旋转。[0060]转换器是移动方向转换机构,其将致动器(S卩,减速机构的输出齿轮轴14)的旋转运动转换为提升阀I的阀杆2的直线运动。移动方向转换机构包括板状凸轮3、两个球轴承(凸轮从动件)24、两个枢转销25和弹簧26。板状凸轮3被连接以便能够在与输出齿轮轴14的中心轴线相对应的中心与输出齿轮17的输出齿轮杆49一体地旋转。凸轮从动件由两个球轴承24制成,该球轴承被引导从而能够沿板状凸轮3的凸轮槽23的相应壁面移动。两个枢转销25与相应球轴承24的内座圈压配合,并且支撑相应球轴承24的外环以使其可旋转。弹簧26弹性接触两个枢转销25。[0061]两个枢转销25可以与插入以便在凸轮槽23中可移动的枢转轴相对应,并且通过两个球轴承24从板状凸轮3接受致动器的动力。[0062]弹簧26是偏压球轴承24以压在凸轮槽23的相应壁面上的弹性构件。[0063]球轴承24、枢转销25、和弹簧26插入以便能够与板状凸轮3的输出单元一起在限定在两个相对部之间的狭缝27中移动。[0064]旋转角度检测器将被详细描述。旋转角度检测器具有旋转角度传感器4和ECU10。旋转角度传感器4测量以能够一体地旋转的状态与输出齿轮轴14和输出齿轮17连接的磁体转子46的旋转角度,从而检测板状凸轮3的旋转角度作为凸轮旋转角度。ECUlO基于旋转角度传感器4的传感器输出检测阀行程(或流速)或凸轮旋转角度。[0065]旋转角度传感器4被容置并且置于布置到传感器覆盖件38的传感器接附部上的定子芯部的相对部之间。旋转角度传感器4被安装成从传感器接附部向输出齿轮轴14突出。旋转角度传感器4主要由霍尔IC(集成电路)构成,并且向ECUlO输出电压信号(模拟信号)。电压信号与磁通密度相对应,该磁通密度与半导体霍尔元件的感应面互联。霍尔IC可以被替换为单体霍尔器件非接触型磁性感应元件(诸如磁阻元件)。