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化学气相沉积制备异形钨制品应用研究.pdf

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文档介绍

文档介绍:宝工些太堂彼苋镗涯呈邮缠——北京工业大学硕士学位论文至卫丛至瓯赒埂闑贳浴辍髡兆谷£丝堂氢担沉赵剑备昱垄鱼剑晶廑旦巫窒一挤Α‘题英文并列目分类号:单位代码:学号:密级:公开论文报告提交日期生学位授予日期授予单位名称和地址
签名:耋甩童也导师签名:苎垄塾独创性声明关于论文使用授权的说明趁≤。本人声明所呈交的论文是我个人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究成果。尽我所知,除了文中特别加以标注和致谢的地方外,论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果,也不包含为获得北京工业大学或其它教育机构的学位或证书而使用过的材料。与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明确的说明并表示了谢意。本人完全了解北京工业大学有关保留、使用学位论文的规定,即:学校有权保留送交论文的复印件,允许论文被查阅和借阅;学校可以公布论文的全部或部分内容,可以采用影印、缩印或其他复制手段保存论文。C艿穆畚脑诮饷芎笥ψ袷卮斯娑日期:
摘要难熔金属钨及其合金因具有良好的导热、导电性能,膨胀系数低、高温强度高、低蒸汽压和耐磨、耐腐蚀等特性而在冶金、电子、航空和宇航工业、核工业以及化学工业等领域有着广泛的应用。本研究工作中,.采用热壁开管气流化学气相沉积实验装置,以虷源气体,在℃沉积制备出多种尺寸的难熔金属钨管。分析了工艺参数对钨沉积层组织、表面形貌及残余应力、显微硬度、抗拉强度、压溃强度等力学性能的影响。通过优化沉积工艺,获得最佳工艺参数是:沉积温度为妫应气体成分配比应为:篐~/痬。在此工艺条件下,化学气相沉积方法制备钨管速度可以达到痟,謇寐士梢源锏%。采用光学显微镜和扫描电镜对不同工艺条件下获得沉积层显微组织和表面形貌分析结果表明,沉积层组织和表面形貌受沉积温度的影响明显。随沉积温度增加,沉积层显微组织由柱状晶向树枝晶及杂乱组织方向变化。同时,沉积表面粗糙度明显增加。钨管沉积表面形貌与膜层生长方式、膜层组织形貌密切相关。随沉积温度升高,沉积表面不平整度明显增大。为了控制沉积钨制品的表面粗糙度,沉积工艺的温度参数应该控制在嬉韵隆内壁沉积制备钨管具有较高显微硬度,其值在/。钨管沉积层硬度值随着温度升高而升高,随距沉积基体距离增加而降低,随沉积钨管半径增加而减小。经过退火处理以后沉积层硬度下降,端面沿径向硬度分布趋于均匀。化学气相沉积制备钨管沿圆周方向存在残余压应力。残余应力大小随沉积工艺温度升高而减小;随沉积制备钨管管径加大而降低。湎卟杏嘤αΨ治霾饬拷峁允荆俟鼙砻嫜毓苤嵯颉⑶邢虿辛粞褂αΓ沿管径方向残留拉伸应力。经过退火处理后,钨管残余应力量值下降,沉积层表面沿轴向及切向存在残余拉伸应力微区。实验获得钨管抗拉强度在以上。压溃强度在之间,沉积制品缺陷对制品力学性能影响显著。在化学气相沉积钨制品工艺中,通过控制沉积表面的温度以及旋转沉积基体等方法可以改善异形钨制品的尺寸均匀性和表面粗糙度。关键词化学气相沉积;钨制品;力学性能摘要
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摘要⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.⋯⋯⋯⋯..第滦髀邸钨的性能及应用⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.:⋯⋯⋯⋯.钨制品的研究现状⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..勰┮苯俚难芯肯肿础论文研究内容⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..本章小结⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⒂⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯...⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯...⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..晕⒆⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.
.粱逦恢貌煌晕俟茏橹蚊驳挠跋臁俟艿谋砻娲植诙燃捌溆跋煲蛩亍俟芄ひ詹问猿粱俾实挠跋臁俟躓气体的利用率⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.本章小结⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..第翪钨管力学性能测试实验结果及分析⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..显微硬度测试试验结果及分析⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯...粱露榷韵晕⒂⒂⒂⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.钨管压溃强度测试试验结果及分析⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..参考文献⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.致谢⋯⋯⋯⋯⋯

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