文档介绍：扫描电子显微镜SEM
(scanning electron microscope)
目录
SEM 的发展史
SEM 的主要结构
SEM 的衬度像
SEM 的主要参数
EPMA电子探针X射线显微分析
SEM 样品的制备
常见问题及处理办法
SEM简介
扫描电子显微镜:简称为扫描电镜,英文缩写为SEM (Scanning Electron Microscope)。
它是用细聚焦的电子束轰击样品表面,通过电子与样品相互作用产生的二次电子、背散射电子等对样品表面或断口形貌进行观察和分析。
SEM与能谱(EDS)组合,可以进行成分分析。
SEM是显微结构分析的主要仪器,已广泛用于材料、冶金、矿物、生物学等领域。
SEM的发展史

1924年,德布罗意(De Broglie)提出物质波的概念。
1926年,德国的Garbor和Busch发现用铁壳封闭的线圈形成轴对称磁场可以使电子流折射聚焦。
1935年,德国的Knoll提出现代SEM的概念。
1965年,英国剑桥仪器公司生产出第一台商用SEM。
1968年,Knoll研制出场发射电子枪。
1975年,中国科学院北京科学仪器厂生产了我国第一台SEM,分辨率为10nm。
主要结构

主要结构
主要结构
电子光学系统:
由电子枪、电子聚光镜以及光阑、样品室组成
主要作用是获得扫描电子束。
电子枪包括钨丝、LaB6热阴极和场发射枪等。
主要结构
几种类型电子枪性能比较
电子束应具有较高的亮度和尽可能小的束斑直径
主要结构
偏转系统:
主要作用是使电子束产生横向偏转。
主要组成包括:用于形成光栅状扫描的扫描系统,以及使样品上的电子束间断性消隐或截断的偏转系统。
可以采用横向静电场,也可采用横向磁场。
电子束在样品表面进行的扫描方式
(a)光栅扫描
(b)角光栅扫描