文档介绍：TDR-80单晶炉工艺操作规范(简要)
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取单晶作业
1
准备
作业内容
注意事项
1) 按规定穿好服装,戴好劳保手套
2)准备好有关工具和取晶栏
2
取出单晶
1)确认炉内恢复常压,打开副室小门
2)按下副室升按钮,升起副室炉筒
*一次升到位
3)把副室炉筒慢慢侧移,同时把接晶盘移到
*晶棒受到撞击会造成
单晶下方,稳住晶棒,避免使其受到撞击
籽晶或细颈断裂
4)把取晶栏放在晶棒正下方,移开接晶盘
*晶棒底下严禁站人
5)按下晶快降按钮,将晶棒降入取晶栏,
以籽晶基本不受力为准
6)按住细颈,用钳子将细颈掐断,使籽晶上
*重锤高速旋转会造成
保留足够长(尽量维持原长的细颈).捉住
钢丝绳损伤
钢丝绳使重锤慢慢旋转,取消拧力后再放手
7)籽晶如需更换,把旧籽晶取下放入待清洗
*注意重锤温度很高
籽晶盒
8)重锤升入副室炉筒,升起炉盖移到侧面
9)准时送入检测区
*晶棒严禁磕碰
单晶炉拆炉作业
1
准备
作业内容
注意事项
1)按规定穿好服装,戴好口罩、手套
2)准备好拆炉工具等
2
取出石墨
件
1)放好不锈钢台车
2)戴好耐高温手套
3)用专用工具依次取出导流筒、保温大盖
4)取出的石墨件倒置放在台车上
*避免石墨件与金属直
3
取出埚底
料
1)放好不锈钢桶
接接触
2)用钳子夹住石英埚上沿部分提起,放入不
*埚底料尽量保持完整
锈钢桶
3)戴好耐高温手套,把埚底料放入不锈钢桶
4
取出石墨
1)戴好耐高温手套
埚帮
2)把石墨埚一瓣瓣取出,碎渣倒入不锈钢桶
*碎渣避免掉入埚杆波纹
3)取出埚托、埚杆,取埚杆时用专用工具拧
管内
掉不锈钢螺丝
4)取出的石墨件放在不锈钢台车上,转移到
规定区域,使其自然冷却
单晶炉清扫作业
1
准备
作业内容
注意事项
1、准备好工具和吸尘管
它氧化杂质。
2、戴好口罩
2
清扫管道
及过滤罐
1)打开抽气管道后盖,使管内自然冷却
2)慢慢打开真空球阀给过滤罐充气,充满后
关闭球阀
3) 拧下大罐盖螺丝,慢慢取下盖子,抽出过
*注意被大罐盖砸伤
滤网,用吸管将其吸净,并将罐内残留物
*粉尘为SiO2及其它
吸净,然后装好过滤网
氧化杂质。
4)将过滤罐密封面和盖上的密封圈擦干净,
*避免划伤密封面
将大罐盖螺丝上好
5)此时抽气管道内已冷却,用吸管吸净管道
*每炉必须清理
内附着物,用专用工具对炉底排气管道进
行疏通,残渣由吸尘器吸走,确认畅通
6)将管道后盖密封面和密封圈擦干净,用工
具将螺