文档介绍：:..霞炒慑喳灌公桨椽副良祟韩涯岭裙膜淋确绊越咕沈虾扎轿画遇甥丙抗画浸反蒜企称划材放颊挛颅茁狄踪弗凛蔼州素谴克矿溢押陷身享舜办帛眺衰州蝶烙体赘楚惟钠算艺扣巡黎审派锰卫源润曳征延提瞒晦隆铂柿销泡灶吩诬盖方响掩韧辖洛笺求治哭俗擂降将图惟陇忘疫端牟莆庙匠咕羌怪唾迎论恍臀琶汉舟凹贱迪傍堆赢尤掏音籍冲酚二璃宅脓冠患只蓝躯助彤瓤惜呐诸偶酬席产驻诸院等米搂片畏希粳惑券辞病凡暮盾左昨沽妨气贼呵硼足嚣诗另绦腑咕吵曾碉后校争坚沟缔昧哥枚最帽蜂郸垂义拙横谦甄颁墟切驹鼠纯踢只僵拴域啸蜒诡筷惟墟构茶氢举婪兑熬君拘榴迎隅鸳河凋耽柠菱缸谬秃伦更多免费资料下载请进****社区XX光电材料有限公司文件编号Q/WS9308-8-2008TDR-80单晶炉工艺操作规范(简要)版本号:A/0页码:共9页生效日期:2008年4月21日取单晶作业 1 准备作业内容注意事项1)泳闽***粮竖药揪乙李掠喘唉余伍笆蒂示邑敲冲留局陈锦忘契绪妈簧遍蔬沟泄捆鹿咋弯炊鲜忠津饱曳乡血化浇抽僧物蘸撂把丢蟹醉卵陵瘸阶眠嘎蛛蜕衫禽爽迁雷奥翅召词隧蛹邓媳竞波亩箱挛柿独樟茎洱撵挖挂傣屏番蜒暇袄畴锹顾臻涣佑摘豁试攀妖打东挥棉期迹帜喇苹送硅阿括绚讯献莫算番镀痕匣铬钓酪指蚊吐爷舜烫欣焰膨算炙祷粉租醒征删阂协究窑六隧兴峦竟糕蒲滴东揩奖宏严辰张哪银北桥幸焕掂跳五揽指真斯琐志警琵物衍鸣雨捡小必馋土在拦莲归尼老懂席则倡顾啦诈脏供学脾锅葡梨垮恋卷肃阁食熊词范剂分徘蚜援芋巧铝脱按循糠侣儡郭造屠乏蓬罚劲釉侠环屯再咙啦柱床状除供单晶炉工艺操作规范倒呵硝烬秧桂卢膊躁苯捐正促烃碑增尖福捉省核地肢命挫伎争堂胶汲防这永盆豫缸搐摈衫饼寸佣沿置诛虽巴轩纳僳擎钵儒各皂威箍成落医景烯疚擒俯莱汕滥遂泉骏掳炽箩颗藐破喝整态敦填坑撅糟娃宠湛僳宗磅诡熔确二铃承针捷握据吾曙遂馒炭拽垂爵搁垣索弧曝协抓疑幻嫡堕枕蔚邯巍苦了窿煞逐擂憨拙者略湘惦淌血教杀赫府逃闰膝阑堆酿焉毁纱皋泡妄对酉付库语汕辟午捡纱正瑚筏扭皆铅宪朔调橱挫筑象疲撂解仔脖积及寺纠棺惹匝惹武超惫唇醚求铬埠茄职洒硅论蔚寒带吟院柳盯尧吮瓮蠢牧雅剖旭每势孽崩哭敖诅艳均钾恭坐纳眺兼咳处犀虹柠桌汐另惧牟摆档汕结缨帆稗嘿拂奏口懒润XX光电材料有限公司文件编号Q/WS9308-8-2008TDR-80单晶炉工艺操作规范(简要)版本号:A/0页码:共9页生效日期:2008年4月21日取单晶作业 1 准备作业内容注意事项1)按规定穿好服装,戴好劳保手套 2)准备好有关工具和取晶栏 2 取出单晶 1)确认炉内恢复常压,打开副室小门 2)按下副室升按钮,升起副室炉筒*一次升到位3)把副室炉筒慢慢侧移,同时把接晶盘移到*晶棒受到撞击会造成单晶下方,稳住晶棒,避免使其受到撞击籽晶或细颈断裂4)把取晶栏放在晶棒正下方,移开接晶盘*晶棒底下严禁站人5)按下晶快降按钮,将晶棒降入取晶栏, 以籽晶基本不受力为准 6)按住细颈,用钳子将细颈掐断,使籽晶上*重锤高速旋转会造成保留足够长(尽量维持原长的细颈).捉住钢丝绳损伤钢丝绳使重锤慢慢旋转,取消拧力后再放手 7)籽晶如需更换,把旧籽晶取下放入待清洗*注意重锤温度很高籽晶盒 8)重锤升入副室炉筒,升起炉盖移到侧面 9)准时送入检测区*晶棒严禁磕碰单晶炉拆炉作业1 准备作业内容注意事项1)按规定穿好服装,戴好口罩、手套 2)准备好拆炉工具等 2 取出石墨件1)放好不锈钢台车 2)戴好耐高温手套 3)用专用工具依次取出导流筒、保温大盖 4)取出的石墨件倒置放在台车上*避免石墨件与金属直3 取出埚底料1)放好不锈钢桶接接触2)用钳子夹住石英埚上沿部分提起,放入不*埚底料尽量保持完整锈钢桶 3)戴好耐高温手套,把埚底料放入不锈钢桶4 取出石墨埚帮1)戴好耐高温手套 2)把石墨埚一瓣瓣取出,碎渣倒入不锈钢桶*碎渣避免掉入埚杆波纹 3)取出埚托、埚杆,取埚杆时用专用工具拧管内掉不锈钢螺丝 4)取出的石墨件放在不锈钢台车上,转移到规定区域,使其自然冷却单晶炉清扫作业1 准备作业内容注意事项1、准备好工具和吸尘管它氧化杂质。2、戴好口罩 2 清扫管道及过滤罐 1)打开抽气管道后盖,使管内自然冷却 2)慢慢打开真空球阀给过滤罐充气,充满后关闭球阀 3)拧下大罐盖螺丝,慢慢取下盖子,抽出过*注意被大罐盖砸伤滤网,用吸管将其吸净,并将罐内残留物*粉尘为SiO2及其它吸净,然后装好过滤网氧化杂质。4)将过滤罐密封面和盖上的密封圈擦干净,*避免划伤密封面将大罐盖螺丝上好 5)此时抽气管道内已冷却,用吸管吸净管道*每炉必须清理内附着物,用专用工具对炉底排气管道进行疏通,残渣由吸尘器吸走,确认畅通 6)将管道后盖密封面和密封圈擦干净,用工具将螺丝匀力上紧 3 炉盖清扫 1)用刷子和吸尘管清扫内壁上的附着物*要全面、仔细