文档介绍：单晶炉工艺操作规范
单晶炉工艺操作规范
1/9
单晶炉工艺操作规范
XX光电材料有限公司
文件编号Q/WS9308-8-2008
版本号：A/0页码：共9页
TDR-8器用刷子和吸尘管吸净
*检查石墨件有无损坏
炉
内
4）保温材料上部吸除干净
清
5）主炉筒与炉盖接合部位吸除干净
*清理干净波纹管内杂物，
扫
6）检查加热器电极螺丝是否松动
防止螺丝丝口堵塞,卸不
7）确认炉底内排气口没有堵塞
1）石墨件安装前用吸尘器再吸除一遍
6
石
2）用专用工具拧紧不锈钢螺丝，装好埚杆
*埚杆要拧紧，不要过紧，
墨
3）装入埚托，与埚杆要完全接触
*埚托要放牢固、平稳
件
4）石墨埚依次装好，与埚托接触良好
*注意带垫片或弹簧垫
安
5）给定埚转，确认无异常
*检查坩埚与加热器缝隙匀
装
6）主炉筒与炉盖外侧用酒精纸擦拭一遍
均匀坩埚无摇头，摆动或
7）打扫炉前卫生，移走无关物品，准备装料
偷停、爬行现象。
装料作业
作业内容
注意事项
1）从指定场所取来炉料和石英埚
*注意相邻炉的交叉作业
1
装
2）戴好口罩、帽子、手套
不应出有拆炉和大清扫
石
3）取出石英埚，对光检查，确认无异常
*无裂纹、无气泡、无斑
英
4）石英埚内壁用酒精纤维纸擦拭一遍
点、无变形、内壁光滑
埚
5）把石英埚装入石墨埚内，放平稳
*要平衡安装
1）换好装料服和一次性手套
2）核实炉料品种重量将其放在装料车上
3）首先放入母合金，然后小碎料平铺于埚底
防止大料磕裂埚底造成漏料
3）大块料放在中央，用中块料填补固定
*大块料严禁放在顶部
4）中块料放在大块料周围，小块料填补空隙
*开始装料后严禁再接触
2装
5）装料过程，禁止料与料、料与石英埚激烈磕
料以外任何物品，否则
料
碰,一定要轻拿轻放
必须更换装料用手套
6）料快装完时，若料过多可以在石英埚边缘
放一圈中块料，要向中心倾斜，严禁超出埚
严禁料搭在埚与加热器间
单晶炉工艺操作规范
单晶炉工艺操作规范
4/9
单晶炉工艺操作规范
边，以防化料时熔硅外流，损坏石墨件
再装入剩余的料
1）装料完成后给定埚转2转，确认转动无摩擦
*装热系统装好后确定化
无异常，快速将坩埚降至化料埚位
料埚位（最低埚位）
2)
降埚同时用吸管将石英埚、石墨埚、加热器、
装
保温碳毡上的碎硅渣吸净
3)
埚降到化料埚位后停止旋转,装好保温大盖
*大盖和保温罩要吻合
导
3流
4)
安装导流筒要小心,下沿严禁与硅料接触,
*石墨件接触硅料会使单晶
筒
如可能接触要调整料的摆放
碳含量增高
若还有少量硅料,可放在导流筒中央,但不*用手按住硅料轻微晃动
能与导流筒接触可判断是否接触导流筒
酒精纤维