文档介绍：单晶炉工艺操作规范
单晶炉工艺操作规范
单晶炉工艺操作规范
XX光电材料有限公司
文件编号 Q/WS9308-8-2008
版本号： A/0 页码： 共 9 页
TDR-80 单晶炉工艺操作规范 (简要 )
生效日期： 2008 年 4 月 21 日
取单晶作业
准
作业内容
注意事项
1) 按规定穿好服装，戴好劳保手套
1 备
2）准备好有关工具和取晶栏
1）确认炉内恢复常压，打开副室小门
2）按下副室升按钮，升起副室炉筒
* 一次升到位
3）把副室炉筒慢慢侧移，同时把接晶盘移到
* 晶棒受到撞击会造成
2
单晶下方，稳住晶棒，避免使其受到撞击
籽晶或细颈断裂
取
4）把取晶栏放在晶棒正下方，移开接晶盘
* 晶棒底下严禁站人
出
5）按下晶快降按钮，将晶棒降入取晶栏，
单
晶
以籽晶基本不受力为准
6）按住细颈，用钳子将细颈掐断，使籽晶上
* 重锤高速旋转会造成
保留足够长（尽量维持原长的细颈） . 捉住
钢丝绳损伤
钢丝绳使重锤慢慢旋转，取消拧力后再放手
7）籽晶如需更换，把旧籽晶取下放入待清洗
* 注意重锤温度很高
籽晶盒
8）重锤升入副室炉筒，升起炉盖移到侧面
9）准时送入检测区
* 晶棒严禁磕碰
单晶炉拆炉作业
准
作业内容
注意事项
1）按规定穿好服装，戴好口罩、手套
1 备
2）准备好拆炉工具等
2 取 1）放好不锈钢台车
出 2）戴好耐高温手套
石
墨 3）用专用工具依次取出导流筒、保温大盖
件
4）取出的石墨件倒置放在台车上
* 避免石墨件与金属直
3 取
1）放好不锈钢桶
接接触
出
2）用钳子夹住石英埚上沿部分提起，放入不
* 埚底料尽量保持完整
埚
锈钢桶
底
料
3）戴好耐高温手套，把埚底料放入不锈钢桶
单晶炉工艺操作规范
单晶炉工艺操作规范
单晶炉工艺操作规范
1）戴好耐高温手套
4 取
2）把石墨埚一瓣瓣取出，碎渣倒入不锈钢桶
* 碎渣避免掉入埚杆波纹
出
3）取出埚托、埚杆，取埚杆时用专用工具拧
管内
石
掉不锈钢螺丝
墨
埚 4）取出的石墨件放在不锈钢台车上，转移到
帮规定区域，使其自然冷却
单晶炉清扫作业
准
作业内容
注意事项
1、准备好工具和吸尘管
它氧化杂质。
1 备
2、戴好口罩
1）打开抽气管道后盖，使管内自然冷却
2）慢慢打开真空球阀给过滤罐充气，充满后
关闭球阀
2
3) 拧下大罐盖螺丝，慢慢取下盖子，抽出过
* 注意被大罐盖砸伤
滤网，用吸管将其吸净，并将罐内残留物
* 粉尘为 SiO2 及其它
清
吸净 , 然后装好过滤网
氧化杂质。
扫
4）将过滤罐密封面和盖上的密封圈擦干净，
* 避免划伤密封面
管
将大罐盖螺丝上好
道
5）此时抽气管道内已冷却，用吸管吸净管道