文档介绍：鳄箭官攫
护侧
现代数控机床的测量系统
—光栅尺的测量原理和选择标准
对于数控机床, 单纯追求
高准确度的光栅尺是不够的,
还要选择光栅尺的信号周期
大小及设定控制系统的细分
份数, 使数控机床有合适的
分辨率, 同时还要选择合适
的机械安装结构。要进一步
提高数控机床的整体精度,
还要对机床进行线性补偿、
非线性补偿甚至几何精度补
偿等。
王桂芳
海德汉天津光学电子有限公司田四场扫描潇理
优良的数控机床上投入了大量的断演变和发展的过程。回顾历史,
人力和物力。数控系统和机床的我们可以清楚地看到这样一根主线
世纪年代是数控机床的测量系统是现代数控机床的关键表、
起步阶段。当时传统的机床越来越部件。尤其是机床的测量系统, 它近年来光栅测量系统在数控
。
难以满足加工业的双高需求高是保证机床高精度的前提条件机床上的使用占具主要的地位。
。—
精度和高效率因此对传统机床的光栅测量系统的分辨率高达纳米
改进显得尤其重要。近几十年来, 数控机床的测系统回顾级, 测量速度高达。测
美国、德国等国家先后在研制性能机床的测量系统也是一个不量长度高达百米以上。由于这些
无可比拟的优点, 高精度、高切削
表机床测, 系统演变和发展过程
速度的数控机床无疑要采用光栅
一
年代较早的世纪世纪年代以后的机床当代机床。
测量系统
机床年代的机床
主导测表盘、同步感应器光栅尺、磁栅尺、球栅光栅尺
光栩尺的发展历程和
、
系统刻度盘为主导尺同步感应尺等多种基本测原理
形式并存
世纪年代德国
表几种测方法的分辨率
公司的
测量方法游标卡尺同步感应尺磁栅尺光栅尺博士发明
工艺在玻璃机体上镀铬的光刻
俪哥三昌—。
毕叫陌酮复制工艺该工艺后来用于光栅尺
信号周期最小为最小为最小为卜最小为的制造上。在以后的几十年里, 光
分辨率最小为林最小为林最小为林最小为栅尺的制造技术不断提高。
匕年第期总第期
阳州翻以
若题报值
洲岛
透射型四场扫描的玻璃基缺点是与单一场
, 田干梦扫播
体光栅尺幅值光栅扫描光栅比抗
顶理
这种光栅尺的雏形是污染的能力较
。
年, 公司研制出的差由于是四场
,
增式光栅尺。该光栅尺的刻线周扫描光栅尺上
期为林, 测且分辨率为林。的污物如果影响
经过不断的改进形成了当今到四组信号中的
,
主流光栅尺四场扫描原理的玻一组便会产生
。
。—。
璃基光栅尺图为测量原理图扫测误差
描光栅的周期与带尺光栅周期相反射型准单一扫描场的钢于林
同。光电池与扫描光栅的四个窗口基光栅尺幅值光栅干涉型扫描原理的光栅尺
,
对应, 接收光线从扫描光栅和带尺对于玻璃基体的光栅尺来说相位光栅
,
光栅透过的光强信号, 从而形成四由于玻璃的强度限制不可以做很为使光栅尺的信号周期更小
, ,
个正弦交变的电信号。这四个信号长难以满足较大行程的机床的要分辨率更高一公
。,
两两合成, 以消去由于产生光源的求司在反射型光栅尺的基础上
,
电子器件的老化而造成的信号强度年公司年又研制出干涉型敞开式光栅尺
,
变化, 最终生