文档介绍：哈尔滨工程大学
硕士学位论文
微机械加工压力传感器的研究
姓名:王卫东
申请学位级别:硕士
专业:控制工程
指导教师:金鸿章
20030101
要摘传感器是获取信息的重要工具,是信息技术ùǜ杏肟刂萍际酢⑼讯技术和计算机技术娜笾е弧R虼耍昀垂谕舛冀ùǜ衅骷术列为尖端技术而倍加重视,并投入大量人力、物力进行开发和研究。在众民用和军用部门的流程控制、自动化技术等多方面都有其应用,而且近年来械加工技术来研制固态半导体压力传感器,此种传感器主要有硅压阻式和电容式两种。本论文的内容正是采用微机械加工技术,开展对硅压阻式压力传感器的研究。在简要介绍了半导体压力传感器的数学模型后,从版图、隔离膜片、敏感元件的结构、整体结构等方面的设计,阐述了对所研制的传感器能清单。此外,还对整个工艺流程中影响成品率的几个因素进行了分析和说测试结果进行了比较和分析。测试结果完全满足预期的各项指标。最后对所研制的传感器所产生的社会和经济效益进行了分析。多种传感器中,压力传感器的应用最为广泛,在石化、化工、电力和国防等更有着明显的上升趋势。利用半导体材料的压阻效应和良好的弹性,用集成电路工艺和硅的微机的整体设计思想。并在传感器研制过程方面,对一些关键环节的制作过程和制作工艺进行了论述。从工程角度阐述了本文研制的传感器所需的资源环境,如设备、仪器等,并提供了为满足所研制的传感器的指标,资源应达到的性对所研制的传感器的工艺考核、性能测试、例行试验等进行测试,并对关键词:传感器:半导体;微机械;敏感元件:硅杯明。哈尔滨工程大学硕士学位论文
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第滦髀目的、意义压力传感器是一个机一电转换器件,它的电学结构都是基于硅的压阻效传感器是获取信息的重要工具,是信息技术ùǜ杏肟刂萍际酢⑼构则取决于被测对象的结构、空间、量值范围等诸多因素,是复杂的、多变畖勺,是难以进行批量生产的。因此造成该行业专用设备缺乏、制造成本偏高、对应用最为广泛的压力传感器进行研制,随着微电子技术的发展,利用半导体材料的压阻效应和良好的弹性,用集成电路工艺和硅的微机械加工技术研制出了固态半导体压力传感器,主要有硅压阻式和电容式两种。他们具本论文的研究内容正是在这种背景下,开展对硅压阻式压力传感器的研究,其中是以微机械加工硅压力传感器研究开发为主。这种传感器以其高精度,高可靠性和高稳定性广泛用于我国的现代武器系统中重点用于蹋龋赫绞醯嫉矫妫尚凶颂刂啤⒎⒍讯技术和计算机技术娜笾е弧R虼耍昀垂谕舛冀ùǜ衅骷术列为尖端技术而倍加重视,并投入大量入力、物力进行开发和研究。由于当今社会的科技飞速发展和普及,传感器在民用和军用的领域中,都得到了非常广泛的应用。在众多的传感器品种中,压力传感器所占的比重化工、电力和国防等民用和军用部门的流程控制及自动化技术上,而且近年希峭骋坏摹⑹强梢圆捎梦⒌缱邮侄谓写笈可摹H欢幕到工艺不稳定,生产方式落后,使传感器生产难以形成规模经济。为适应这一现象,国外率先开始了研究。绞降奶氐憔褪墙矶嗖还娣兜难沽Υǜ衅鞯幕到峁菇蟹胖茫选择出一种易于批量生产、易于在刺湍芊奖愕母鲂阅懿问⒛芊便的组装成各种外形尺寸的一种中间结构状态作为它的标准结构,从而使它的机械结构的批量生产性和电学结构的批量生产相一致,以便发挥现代化大生产的特长,使其产品形成标准化、系列化、批量化降低成本、提高产量、便于推广应用、开拓市场。有体积小、重量轻、灵敏度高的优点。近年来,半导体压力传感器迸一步向集成化和智能化的方向发展。装备中。如航天运载系统以一、一@ḿ鞑克柩沽Υǜ衅僦唬辉厝撕教旃こ讨—低常龌房厣O低乘柩沽Υǜ衅骱娇最大,压力传感器在传感器市场中约占%市场份额,广泛的应用在石化、来更有着明显的上升趋势。方式的哈尔滨:【程大学硕士学位论文
国内外概况统中的液压与伺服机构及液位,水深测量均大量采用这种型微机械加工硅压力传感器。随着技术的进步和工艺水平的提高,许多新的测量方法不断涌现,的传感器制造技术,特别是敏感芯片的制造技术,至多转让散件组装技术。绞降募际趸【褪枪璧奈⒒导庸ぜ际酰⒒导庸す柩沽Υǜ所需压力传感器近百只:战术导弹方面,飞行姿态控制、发动机动力气流压力控制及舰船系统中的液压与伺服机构及液位,水深测量均大量采用这种型微机械加工硅压力传感器。由于绞娇梢栽诓返某跗诰透霾返耐高性能、高可靠性、新型的微机械加工硅压力传感器,其意义和影响是非常本文论述了针对高性能、高可靠性、新型的微机械加工硅压力传感器的动力气流压力控制;舰载导弹系统、⒂阋、鱼一敖⒋而一些老的测量方法,也被赋予新的内涵,重新焕发了活力。传感器是工业测控系统和信息系统的基础元器件。先进制造技术的应用,使传感器技术得到迅速发展。新一代传感器的突出特征是多功能化、数字化、智能化、