文档介绍：东南大学
硕士学位论文
单自由度硅微型振动轮式陀螺仪测控线路研究
姓名:金小锋
申请学位级别:硕士
专业:精密仪器及机械
指导教师:王寿荣
20030301
摘要关键词:过去的几十年,随着集成电路技术的成熟发展,产生了一种新型的微机电系统鱏F中,硅微型惯性测量单元是技术的一个重要应用领域,而硅微型机械陀螺仪是构成这种测量单元的核心器件,它具有体积小、重量轻、成本低、动态特性好、可靠性高等独特优点,有着广阔的应用前景。本文介绍了我们自行设计的一种硅微型单自由度振动轮式陀螺仪的外围电路设计方案,主要研究内容包括以下几个方面:治隽斯栉⑿偷プ杂啥日穸质酵勇菀堑亩ρ匦裕直鸬贸隽送勇菀堑那媛珊敏感规律,研究了电容式微机械陀螺仪信号器的输出特性。岷系缛菔轿⒒低勇菀鞘涑鲂藕诺奶匦裕治隽烁髦旨觳夥桨傅挠湃钡悖詈笾赋鱿干检测特别适合用于硅微陀螺仪的信号检测。直鸩隽斯栉⑼勇菀强;泛捅栈饭ぷ髂J降牡缏飞杓品桨福岷鲜笛榻峁冉狭肆街模式在性能上的差别。微机电系统硅微机械振动轮式陀螺仪谐振器差动电容相干检测反馈控制东南大学硕士学位论文
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签名:名分牛锋日期:!年三月学位论文独创声明本人声明所呈交的学位论文是我个人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究成果。尽我所知,除了文中特别加以标注和致谢的地方外,论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果,也不包含为获得东南大学或其它教育机构的学位或证书而使用过的材料。与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明确的说明并表示了谢意。东南大学硕士学位论文
签名:舍小锑导师签名关于学位论文使用授权说明东南大学、中国科学技术信息研究所、国家图书馆有权保留本人所送交学位论文的复印件和电子文档,可以采用影印、缩印或其他复制手段保存论文。本人电子文档的内容和纸质论文的内容帽一致。除在保密期内的保密论文外,允许论文被查阅和借阅,可以公布ǹ论文的全部或部分内容。论文的公布ǹ授权东南大学研究生院办理。日期:年三月东南大学硕士学位论文
母叫传’峰鼿辇蹾渌黨微匝丑叫器匡丑一感第一章绪论甀微机电系统技术及其应用前景微机电系统概述““.⒒缦低车氖谐∏绷τ胗τ们熬啊近几十年来。⑿突岛偷缱拥缏房刂朴谝惶宓奈⑿,它满足了现代测控系统微小型化的要求。现代传感器是能把各种非电量信息转换成电信息的器件。在测控系统中,传感器从外界获取信息,经过信息处理电路对收集到的信息进行必要的加工处理,再通过执行器又把加工处理过的电信息转换成各种非电信息,实现对外界的响应。可见,现代测控系统由传感器、信息处理电路和执行器三部分组成,为使测控系统微小型化,通常把它们集成在一起。将系统中的传感器和一部分信息处理电路集成起来,得到集成传感器;某些集成传感器具有一定的人工智能,称作智能传感器或灵巧传感器唤糠侄技稍谝豢樾酒希涂以得到一个微机电系统“M疾穕给出了一个典型的微机电系统模型。微执其它微系统的通讯接口图卜⒒缦低衬P屯器件和系统具有以下几个特征:寤。叽缭诤撩子胛⒚字洌基丁ú限于栉⒓庸ぜ际踔圃欤与微电子芯片类同,可以大批量、低成本生产,;、热、声、光、磁乃至化学、生物等具有能量转化、传输等功能的效应;的目标是微“机械”与集成的具有智能的微系统。它可解决微小领域中信息的收集、处理,决策、行动及周嗣环境的控制等方面的复杂技术问题。在原子能、石油化工、城市设施的各种倒艿兰煨藓鸵搅萍觳檎镏我约熬铝煊蛴凶徘痹诘木薮笥τ们熬啊目前。产品主要包括以父龇矫妫力学领域内的压力、加速度、角速度传感器等;9乩嗥骷缥⒉ǹ9亍⑼痰缙鳌⒐庋Э9兀⑼妇档龋生物医疗所需的微型制动器以及微型化学反应系统;⒒迪允酒鳎微机械海量存储器:⒒滴⒉ㄆ件如电感、可变电容、本振等。在美国国家科学基金委员会的调奄报告中,列举的重人廊埘前景的领域达个。表卜桥饭蔡宥匀闙谐〉:涤么ǜ衅魇谐。好磕杲万辆汽车所需的加速度计、。约亿元人民币/年,如果汽乍导航系统也使⒒档腗幕埃彩亿元人比币/年。菔谐。壕麳』高精度传感器和高可靠陛开关的市场预计达到亿元人遥辍生物、医疗、化学领域:微流量、微制动器什将达剑亿元人民币/年的产值。⒒导际酰喝缒苁迪值テ邮辗行器
了它琙用。在这种背景下,以微电子机械系统为基础的微机械惯性传感器逐渐发展起来。诠咝约际趿煊虻挠τ.⒐咝云骷跋低匙凼鰋。表卜产品及应用”ノ唬喊偻蛎涝ü炭刂坪秃娇蘸教机,也有上亿元人民币/年的产