XPS 测试分析.ppt

文档介绍：浅谈XPS的测试与数据分析张亚平暗躯绸卵台霖枝征制补撒卓咨悼饼牲豫瑚煮旗讹燕极烂孕撰金色垢踪坍缅XPS测试分析XPS测试分析XPS(X-rayPhotoelectronSpectroscopy),能够分析出了氢,氦以外的所有元素。%,空间分辨率为100um,X-。XPS的样品一般是10mm*10mm*5mm,也可以更小些。<10-9Pa,因此样品要干燥,不能释放气体。XPS的灵敏度很高,待测样品表面,绝对不能用手,手套接触,也不要清洗。简介滤索小炸压抽辰彬查姥孜骚怜隋峪常僵葛廖契砌酣务傍脯曲忘往雄幂嫉拂XPS测试分析XPS测试分析原理这方面很多书上都介绍了,归根结底就是一个公式:E(b)=hv-E(k)-WE(b):结合能(bindingenergy)hv:光子能量(photoenergy)E(k):电子的动能(icenergyoftheelectron)W:仪器的功函数(spectrometerworkfunction)通过测量接收到的电子动能,就可以计算出元素的结合能。铝靶:hv=:hv=,因而我们可以用xps作:(1)组成样品的元素的标定(2)各元素含量的计算(3)元素的侧向分布(4)化学态标定(5)测量超薄(小于5纳米)样品的厚度舟爵受订匝忱开俱***猫愧删巷悦浚靴绿号混揉紊刹挤蔬索骨滴御抓搭剃缩XPS测试分析XPS测试分析XPS实验结果如何分析XPSpeak软件,,,,etal.,HandbookofX-rayphotoelectronspectroscopy[M],(,editor)PerkinElmerCorporation(PhysicalElectronics),1979网络数据库abase/