XPS 测试分析.ppt

文档介绍：浅谈XPS的测试与数据分析
张亚平
XPS (X-ray Photoelectron Spectroscopy), 能够分析出了氢,氦以外的所有元素。测定精确到 %, 空间分辨率为 100um, X-RAY 的分析深度在 左右。
XPS 的样品一般是 10mm*10mm*5mm, 也可以更小些。厚度不能超过 5mm. XPS 分析室的真空度可以达到<10-9 Pa, 因此样品要干燥,不能释放气体。XPS的灵敏度很高,待测样品表面,绝对不能用手,手套接触,也不要清洗。
简介
原理
这方面很多书上都介绍了,归根结底就是一个公式:
E(b)= hv-E(k)-W
E(b): 结合能(binding energy)
hv: 光子能量(photo energy)
E(k): 电子的动能(ic energy of the electron)
W: 仪器的功函数(spectrometer work function)
通过测量接收到的电子动能,就可以计算出元素的结合能。
铝靶:hv= eV
镁靶:hv= eV
应用
由于元素的结合能是唯一标识的,因而我们可以用 xps 作:
(1)组成样品的元素的标定
(2)各元素含量的计算
(3)元素的侧向分布
(4)化学态标定
(5)测量超薄(小于 5 纳米)样品的厚度
XPS 实验结果如何分析
XPSpeak 软件,或者 origin
XPS 手册 C. D. Wagner, W. M. Riggs, L. E. Davis, et al., Handbook of X-ray photoelectron spectroscopy [M], (G. E. Muilenberg, editor) Perkin Elmer Corporation (Ph