文档介绍：1真空:低于一个大气压的气体状态。1643年,意大利物理学家托里拆利()首创著名的大气压实验,获得真空。自然真空:气压随海拔高度增加而减小,存在于宇宙空间。人为真空:用真空泵抽掉容器中的气体。1真空基础知识2真空量度常用单位○帕斯卡(Pa):国际压力制中的压力单位,我国法定压力单位。1Pa压力就是1平方米作用1N的力。○微巴(μbar):1μbar的压力就是在1平方厘米作用1μbar的力。○标准大气压(atm):1927年第七次国际计量大会上,给标准大气压下了定义,760mm高的***柱产生的压力称为1atm。1标准大气压==760mmHg=760(Torr)1真空基础知识3真空区域的划分目前尚无统一规定,常见的划分为:低真空中真空高真空超高真空极高真空1真空基础知识4真空技术的应用电子技术、航空航天技术、加速器、表面物理、微电子、材料科学、医学、化工、工农业生产、日常生活等各个领域。1真空基础知识5真空特性●防止氧化●脱气作用●元素蒸发作用●真空镀膜脱脂作用真空应用①生活方面:各种真空包装、真空保鲜等。②工业生产方面:􀁺●真空热处理􀁺●真空清洗􀁺●真空干燥􀁺●真空焊接1真空基础知识真空技术的应用62真空泵基本原理介绍1654年,德国物理学家葛利克发明了抽气泵,奥托·冯·格里克做了著名的马德堡半球试验。如下曲线所示,半球中真空度越高,所需要的拉力就越大。72真空泵基本原理介绍原理:当泵工作后,形成压差,p1>p2,实现了抽气。8真空泵的分类气体传输泵:是一种能将气体不断地吸入并排出泵外以达到抽气目的的真空泵,例如旋片机械泵、罗茨泵、油扩散泵、涡轮分子泵。气体捕集泵:是一种使气体分子短期或永久吸附、凝结在泵内表面的真空泵,例如分子筛吸附泵、鈦升华泵、溅射离子泵、低温泵和吸气剂泵。2真空泵基本原理介绍9真空泵的主要参数抽气速率:定义为在泵的进气口任意给定压强下,单位时间内流入泵内的气体体积或表示为:其中,Q为单位时间内流入泵的气体量。泵的抽气速率S并不是常数,随P极限压强而变。2真空泵基本原理介绍10极限压强(极限真空)最高工作压强工作压强范围()泵能正常工作的压强范围几种常用真空泵的工作压强范围旋片机械泵萝茨泵扩散泵涡轮分子泵真空泵的主要参数2真空泵基本原理介绍气体传输泵