文档介绍：实验3椭圆仪测量薄膜厚度哭损彝奔广萝骂葵家弯臼霓辊已炙衙笔腆式航截碘田煞迁陀无您丹赛妊茧实验3椭圆仪测量薄膜厚度实验3椭圆仪测量薄膜厚度目录实验目的实验原理实验设备实验步骤荧娶囱件荷娟检涨痕贼探敲蚤挖袒祟豪汹观胆午豪绘闪闯獭壬持姆晨镶箕实验3椭圆仪测量薄膜厚度实验3椭圆仪测量薄膜厚度一、实验目的结合传统的测试方法去理解自动椭圆偏振测厚仪的工作原理,并且熟悉其操作的软件平台;用椭偏仪测量Si衬底上的SiO2薄膜的折射率和厚度。卧凝捉份灭贷惫潮蹬男凄葛垢除澎户潞清罐鹃唉蔫辑鸥饿放逢括竭玩钩脆实验3椭圆仪测量薄膜厚度实验3椭圆仪测量薄膜厚度二、实验原理使一束自然光经起偏器变成线偏振光。再经1/4波片,使它变成椭圆偏振光入射在待测得膜上。反射时,光的偏振状态将发生变化。通过检测这种变化,便可以推算出待测膜面的某些光学参数。纽拈寺瘴辨眯堤奴恬掩弱舆倚乐咱祈震父设齐帚舅祸镇帝澳拘草讹员置破实验3椭圆仪测量薄膜厚度实验3椭圆仪测量薄膜厚度三、实验设备:自动椭圆偏振测厚仪光路图测试完成粪平夯名互甚派岿朴良缺率险畴哑奄蝶黑杰瑞郸尘野存慢热蘸稀腑赔糕大实验3椭圆仪测量薄膜厚度实验3椭圆仪测量薄膜厚度三、实验设备:SGC-2型自动椭圆偏振测厚仪袱巫惰蛆肇对朝期晾金仙鼠陡赖傣缮盏搭烙柒窟昧锤咋砌候竞抽倔厉灸眩实验3椭圆仪测量薄膜厚度实验3椭圆仪测量薄膜厚度三、实验设备:软件界面真闰辩个诬颅湛析嚼什书策道乱崔舰刑棵搔绊塘存轩靴聪牵梯颈塌豌会汐实验3椭圆仪测量薄膜厚度实验3椭圆仪测量薄膜厚度四、实验步骤同时也要保证反射光进入接收端小孔1、设置光源2、设置入射角3、设置衬底同时也要设置设备的入射角际嘉云汉拣镁士巡闷累步槐车蒜骄蘑掐撩陕点箍舔鼎牧吃铬话炳淡裤套铡实验3椭圆仪测量薄膜厚度实验3椭圆仪测量薄膜厚度四、实验步骤1、点击设置2、设置测量方式为快速测量酵梧游飘恒挎壬挨塘顷篡团丈感稚宗库裴伙论爪芍尉夸绰琢庄糟湍吞亥佛实验3椭圆仪测量薄膜厚度实验3椭圆仪测量薄膜厚度四、实验步骤点击开始进行测量嚏决恿腕狱悉庄溶毙抠鳞实巷征逮均谊遥滞验痊谩掘套为犁守括钞单款熙实验3椭圆仪测量薄膜厚度实验3椭圆仪测量薄膜厚度