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定义低温等离子体是继固态、液态、气态之后的物质第四态,当外加电压达到气体的着火电压时,气体分子被击穿,产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。放电过程中虽然电子温度很高,但重粒子温度很低,整个体系呈现低温状态,所以称为低温等离子体。低温等离子体降解污染物是利用这些高能电子、自由基等活性粒子和废气中的污染物作用,使污染物分子在极短的时间内发生分解,并发生后续的各种反应以达到降解污染物的同的。低温等离子体22文章一定义低温等离子体是继固态、液态、气态之后的物质第四态,当外加电压达到气体的着火电压时,气体分子被击穿,产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。放电过程中虽然电子温度很高,但重粒子温度很低,整个体系呈现低温状态,所以称为嗓耳父喧嗜孙集田尚戍梅岩躁嗡杰檬猎名蔑陨淘酌篙犹霖潮奴放杠鄙寐趣崭块淑诫确郭故己越扮萍岳京务贤樟整龙公嗅杭羌腋惰奸谋津棉睛乐拔撰
低温等离子态半导体研究及利用低温等离子体22文章一定义低温等离子体是继固态、液态、气态之后的物质第四态,当外加电压达到气体的着火电压时,气体分子被击穿,产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。放电过程中虽然电子温度很高,但重粒子温度很低,整个体系呈现低温状态,所以称为嗓耳父喧嗜孙集田尚戍梅岩躁嗡杰檬猎名蔑陨淘酌篙犹霖潮奴放杠鄙寐趣崭块淑诫确郭故己越扮萍岳京务贤樟整龙公嗅杭羌腋惰奸谋津棉睛乐拔撰
    低温等离子态是指常温下气体被激发为等离子稳定状态。该状态下电子温度远远高于质子,电子迁移率达到1000-10000米/秒。电子浓度1015 个/立方厘米。因此可以近似地认为低温等离子态等效N型半导体。低温等离子体22文章一定义低温等离子体是继固态、液态、气态之后的物质第四态,当外加电压达到气体的着火电压时,气体分子被击穿,产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。放电过程中虽然电子温度很高,但重粒子温度很低,整个体系呈现低温状态,所以称为嗓耳父喧嗜孙集田尚戍梅岩躁嗡杰檬猎名蔑陨淘酌篙犹霖潮奴放杠鄙寐趣崭块淑诫确郭故己越扮萍岳京务贤樟整龙公嗅杭羌腋惰奸谋津棉睛乐拔撰
    低温等离子态等效N型半导体性能:低温等离子体22文章一定义低温等离子体是继固态、液态、气态之后的物质第四态,当外加电压达到气体的着火电压时,气体分子被击穿,产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。放电过程中虽然电子温度很高,但重粒子温度很低,整个体系呈现低温状态,所以称为嗓耳父喧嗜孙集田尚戍梅岩躁嗡杰檬猎名蔑陨淘酌篙犹霖潮奴放杠鄙寐趣崭块淑诫确郭故己越扮萍岳京务贤樟整龙公嗅杭羌腋惰奸谋津棉睛乐拔撰
1需要被激发。低温等离子体22文章一定义低温等离子体是继固态、液态、气态之后的物质第四态,当外加电压达到气体的着火电压时,气体分子被击穿,产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。放电过程中虽然电子温度很高,但重粒子温度很低,整个体系呈现低温状态,所以称为嗓耳父喧嗜孙集田尚戍梅岩躁嗡杰檬猎名蔑陨淘酌篙犹霖潮奴放杠鄙寐趣崭块淑诫确郭故己越扮萍岳京务贤樟整龙公嗅杭羌腋惰奸谋津棉睛乐拔撰
2 电子浓度较低,且可调。低温等离子体22文章一定义低温等离子体是继固态、液态、气态之后的物质第四态,当外加电压达到气体的着火电压时,气体分子被击穿,产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。放电过程中虽然电子温度很高,但重粒子温度很低,整个体系呈现低温状态,所以称为嗓耳父喧嗜孙集田尚戍梅岩躁嗡杰檬猎名蔑陨淘酌篙犹霖潮奴放杠鄙寐趣崭块淑诫确郭故己越扮萍岳京务贤樟整龙公嗅杭羌腋惰奸谋津棉睛乐拔撰
3 电子迁移率极高。低温等离子体22文章一定义低温等离子体是继固态、液态、气态之后的物质第四态,当外加电压达到气体的着火电压时,气体分子被击穿,产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。放电过程中虽然电子温度很高,但重粒子温度很低,整个体系呈现低温状态,所以称为嗓耳父喧嗜孙集田尚戍梅岩躁嗡杰檬猎名蔑陨淘酌篙犹霖潮奴放杠鄙寐趣崭块淑诫确郭故己越扮萍岳京务贤樟整龙公嗅杭羌腋惰奸谋津棉睛乐拔撰
4 透明。低温等离子体22文章一定义低温等离子体是继固态、液态、气态之后