文档介绍：上海交通大学硕士学位论文摘要
基于 Kohonen 神经网络的晶圆光刻流程动态调度方法
摘要
为了使半导体企业在激烈的市场竞争中占据有利地位,要求其不断
提高产能降低制造周期来适应需求。在整个半导体晶圆制造系统中,光
刻区是重入次数最多的区域,光刻设备被认为是利用率最高的瓶颈设
备,并在很大程度上控制着整个晶圆制造厂的系统绩效。本文结合国内
外已有的研究成果,对光刻流程动态调度问题进行了系统和深入的研
究。本文所做的主要工作为:
(1)针对光刻区的不同状态,提出了基于 Kohonen 神经网络的晶
圆光刻流程动态调度方法,以适应生产过程中的复杂变化。以此提高光
刻区绩效指标值,从而达到改善制造系统整体绩效的目的。
(2)将基于 Kohonen 神经网络的晶圆光刻流程动态调度方法集成
为一套动态调度系统,主体是由仿真样本生成模块,学习模块、数据库
模块、预测模块、控制模块五部分组成。其整体构思为:仿真样本生成
模块通过模拟真实晶圆制造系统收集仿真样本;学习模块利用 Kohonen
神经网络对仿真样本进行学习,选择出每种状态下能够使光刻区取得较
I
上海交通大学硕士学位论文摘要
好绩效的调度规则;在获得了学习的结果之后,控制模块将利用预测模
块和数据库模块对实际的晶圆制造系统实施周期性动态调度策略,即每
隔固定的时间,为光刻区选择适宜的调度规则。
(3)为了证明该方法的有效性和高效性,在以上工作的基础上,
对基于 Kohonen 神经网络的晶圆光刻流程动态调度方法在半导体晶圆
制造系统中的应用进行了仿真实验,实验按照系统投料规则的不同划分
为闭环投料规则和开环投料规两种情况,实验结果表明本文所提出的调
度方法是有效可行的。
关键字:半导体晶圆制造系统;光刻;Kohonen 网络;动态调度
II
上海交通大学硕士学位论文 ABSTRACT
DYNAMIC SCHEDULING OF PHOTOLITHOGRAPHY
PROCESS BASED ON KOHONEN WORK
ABSTRACT
Semiconductor enterprises should continue to provide more capacity to
meet the demands of the petitive semiconductor market.
Photolithography area is the most reentrant area and its equipment is the
most important equipment in semiconductor manufacturing system. To some
extend, photolithography area controls the performance of whole
semiconductor manufacturing system. This paper researches on the dynamic
scheduling in photolithography area.
A dynamic scheduling method based on Kohonen work is
proposed in this paper, to modate plex changes of state in
photolithography area. Get the improvement of performance of
photolithography area, in order to increase the performance value of the
whole semiconductor manufacturing system.
The method has been integrated into a dynamic scheduling system,
which posed of sample creating module, learning module, database
III
上海交通大学硕士学位论文 ABSTRACT
module, forecast module and controlling module. The learning module
learning the samples collected by the sample creating module, to select best
scheduling