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制冷技术年第期
某微电子厂房洁净室暖通空调设计原理及方法探讨
秦卓欢
同济大学建筑设计研究院上海
【摘要】本文结合了某微电子厂房洁净室空调系统的实例,分析了洁净室的净化空调设计原理,并对气流组织方式、空气处
理过程、排风排烟系统进行了阐述和讨论。
【关键词】洁净室空调设计风机过滤单元机组干式冷盘管

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工程概况/,远远大于一般建筑的冷负荷指标。这是
该微电子工厂主要从事芯片的设计、开发、制造、由于:.微电子工业洁净室的生产设备发热量大,消
销售和技术服务。新主厂房建成投产后,集成电路生耗冷量大;.为补充大量工艺排风排除酸性、碱性、
。厂有机溶剂等气体,及为维持洁净室正压而造成新风
区包括主厂房、化学品库、动力厂房、行政办公楼等。量大,处理新风所需冷量大。以上两项负荷之和一般
主厂房为三层建筑,从下至上依次为动力下技术夹占到总冷负荷的% 以上。由于洁净室处于内区,
层、洁净下技术夹层、洁净室,其中洁净室面积约为围护结构的冷热负荷影响可以忽略不计。设计发热
,洁净等级分为级级和级量大,冬季仍为制冷工况,其室内冷负荷与夏季基本
级,其主要室内设计参数详见表。相同。洁净室内散湿量较少,故洁净室室内负荷以显
表室内设计参数热负荷设备负荷、照明负荷为主。
设计参数主生产区光刻区支持区. 气流组织方式
温度/℃土. 士士洁净室内的气流流型为垂直单向流,即空气由吊
相对湿度% ± 士士顶上的风机过滤单元机组所带的高效过滤器
高效过滤效率.%. .%./ .%. 进行过滤处理达到洁净要求后送入室内,再经过地面
噪声/ ≤≤≤
带孔高架地板和华夫楼板,通过两侧回风竖井与新风
机组处理过的新风混合后,经安装在竖井与吊顶静压
空调系统设计箱之间的干式冷盘管冷却回到吊顶静压箱见图
. 空调负荷虽然风机过滤单元机组的送风模式未必
实际设计中洁净室内冷负荷的计算一般采用估对每个洁净厂房和生产工艺都最为适合,但近年来它
算的方法,根据其生产工艺情况、围护结构、操作人员以其本身的优越特性正被越来越多的广泛采用。首
数量等确定估算指标。该洁净室的主生产区冷负荷先,如图所示,洁净室内压力高于静压箱内的压力,
估算指标为/,光刻区为/,其它区域不存在尘粒由静压箱渗透到室内的可能性,即所谓
根据功能为/一/。设计总冷负荷“负压密封”,而其它送风模式例如分散式循环风机
包含新风冷负荷为,单位冷负荷指标为组、风机竖井等必须采用接触填料密封或液槽刀口密
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年第期制冷技术
封等较为复杂的方法来保证洁净室顶棚的密封性;其布置的灵活性具有更强的竞争力见图。另外,由
次,由于微电子工业洁净室工艺的频繁更新和调整, 于对层高和空间需求较少,降低了建筑成本和施工周
可以通过增减局部区域的风机过滤单元机组期,也很适合用于改建项目。但大量风机过滤单元机
的数量来改变洁净度以适应生产工艺流程的需要。组安装在吊顶上所带来的缺点也是显而易见的,噪声
如今生产线上大量采用微环境装置,高效过滤器满布和振动对洁净室的影响不容忽视,设备和自控成本的
率降低到% 以下,风机