文档介绍：上海大学
硕士学位论文
锆钛酸铅压电膜式微驱动器的设计与制备技术
姓名:杨晓燕
申请学位级别:硕士
专业:微电子与固体电子学
指导教师:程晋荣
20080301
摘要关键词:,底电极,溶胶凝胶,抗疲劳特性及电极与硅衬底的附着性,采用氧化物电极慈〈进行了优化设计,运动状态进行了仿真模拟。、铁电和压电性能,成势制备传感器和驱动器的垂要材料。。并剩耀薄膜作为过渡层将∧び虢鹗舾春侠赐乜鞵薄膜的应用范围。采潮溶胶一凝胶工艺在硅衬底及钛金属基片上戮5椎极制备绫∧ぃ芯縇的晶化温度、厚度及其前驱体溶胶浓度等对∧の⒔峁购偷缧阅艿挠跋臁=峁砻鞯盠的晶化温度为,厚度为/琇溶胶浓度为疞时∧ぞ哂薪虾玫慕峁辜暗缧能:对于和髓基片狈株和,分别为;在/时漏电流密度数量级为。/籔直鹞瓹/珽直/。相对瓢树底,在衬底上以5椎极制备的∧さ慕榈绯J洗蟆⒔榈缢鸷慕闲⒙┑缌髅芏冉闲⒔猛绯强较小,但剩余极化较小。用砑杓屏嘶赑薄膜的膜式微驱动器,对其上电极结构电极为边长或直径为的方形电极或圆形电极;。根据杓频哪な轿⑶鳎杓莆⒓庸すひ樟鞒讨票噶嘶于疨疶疭疭嗖憬峁沟哪な轿⑶鳌2馐缘玫侥な轿⑶┘拥缪拐穹保振动位移超过式微驱动器畉。
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签名:拗恕日期:越日期:啦:啦原创性声明本论文使用授权说明本人声明:所呈交的论文是本人在导师指导下进行的研究工作。除了文中特别加以标注和致谢的地方外,论文中不包含其他人已发表或撰写过的研究成采。参与同一工作的其他同志对本研究所做的任何贡献均己在论文中作了明确的说明并表示了谢意。本人完全了解上海大学有关保留、使用学位论文的规定,即:学校有权保留论文及送交论文复印件,允许论文被查阅和借阅;学校可以公布论文的全部或部分内容。C艿穆畚脑诮饷芎笥ψ袷卮斯娑上海大学硕士学位论文锆钛酸铅压电膜式微驱动器的设计与制备技术
土;籰;籸J齦第一章绪论上引言观世界所必需的基本知识和物质手段。在此基础上,年第一块集成电上海大学硕士学位论文锆钛酸铅压电膜式微驱动器的设计与制备技术随蓉微米纳米技术和各种徽细加工手段的出现,入类已经具备了探索微路诞生,年硅乎厦工艺和外延技术国现,年第一台扫描隧道显微镜⒚鳎敝晔澜缟系谝桓鑫⒌缁淖6晒Ρ曛咀盼⒒电系统制造韭革命的署始。微机电系统肝⑿突钠骷蚱骷楹希训缱庸δ苡牖档模庋У幕蚱链功能楣结合的综合集成系统,采用微型结构,搜之能在极小的空阙内达到智能化的功效,尺寸在微米到毫米之间【俊骷ùǜ衅骱颓鳌传感器适宜针对某一特定被测量蠹容提供相应的有用的电输出信号的器件;驱动器的作用与传感器相反,是一种将电信号转换成动作的器件。图表示微机电系统结构图:传感器电源驱数字信动号处理数据接口电/光电机械位移传感和驱动功能是技术的核心,技术的发展要求材料能图:微机电系统概念示意瞬◆.篶。,
锆钛酸铅薄膜概述对外界信号作出灵敏的响应或输出较大的应变。其工作原理即材料的信号转法更趋予多群纯,工艺更加成熟,在铁电压电薄膜的制各和结构、性能的控代到年代,愿电陶瓷不断改进,逐趋完美。如用多种元素改进的锆钛酸潮。年代,薄膜的制备技术发展迅速,采用物理或化学方法,不论是在单晶换原理有很多种,如光学方蘑有外光电效应、光电导效应、光生伏特效应,热学方面有热敏电阻效应、热电偶效应等,【康取L缧匝沟绮牧暇哂姓沟缧в湍嫜沟缧вΓ传感器应用中具有高灵敏度和低电噪声,在驱动应用时具有很高的响应速度和较大的驱动应力【】。蕊电材料既能震予传感器也能用予驱动器,因此在很大程度上简化了制备工艺。利用压电材料制备的器件具有信噪比高、损耗低、响旋快、驱动力强等优点。随着材料制备科学的发展,薄膜的制备技术取得了突飞猛进的发展,方制方面取得了很大进展。通过将铁电压电薄膜工艺技术与半导体工艺技术兼容,更加有剩于器件的微型亿与集成化,大大开拓了铁电性压电材料在方面的应用范围。年法国入居里兄弟发现了“压电效应年,第一个雁电陶瓷材料钛酸钡先后在美国、前苏联和日本制成。年代初,性能大大优于钛酸钡的锆钛酸铅研制成功。从此,压电陶瓷的发展进入了新的阶段。年铅二元系压电陶瓷,以锆钛酸铅为基础的三元系、四元系压电陶瓷也都应运面生。年代初,自“上报道关予压电薄膜材料的制备,以及分析某些多晶压电薄膜表现出比相应大块压电材料更优的