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庋由榉莸脑谙呒嗖王鹏程,徐华伟,张金龙狼坎发光学报如.&Ⅱ把筴騠矿￡蟆薷あ蛱鹑锤譪眦餺m鲂瞭辍鞍选3如,凡肿隵口,:利用反射各向异性谱头瓷淦自谙呒嗖饬薃珿唬籄返慕鹗粲谢衔锲嗟砘·:.庋由す獭Mü谙呒嗖獾玫降腞和反射谱可以敏感地反映出,。一,外延层组份发生的变化,从而优化外延生长工艺。实验表明,反射谱中的振荡周期可以在线计算组份和生长速率,利用反射谱中的振荡的第一个最小值与赳组份的线性关系,可以确定渐变组份初始值。通过在线计算得到的生长速率和组份与扫描电镜透叻直鎥射线衍射馐缘玫降慕峁疚呛稀关键词:Ⅲ一灏氲继寤衔铮煌庋由ぃ唤鹗粲谢衔锲嗟砘环瓷涓飨蛞煨云中图分类号:文献标识码:猯,绘誩绯竜,拓餹℃瓽氧仨窈魑鉶,铂誩陀印氖顰筼,,,吉林长春;泄蒲г貉芯可海本.”,獁琙.,蓿如聊黜,д裭餴加:。弧,瑆.。弧甌;弧猺孩笠籚祔收稿日期:.一;修订日期:.—基金项目:国家自然科学基金“;国家自然科学基金重点项目;长春市科技计划手钅作者简介:王鹏程,男,吉林公主岭人,博士,主要从事半导体激光器方面的研究。.猳籩剑籱—;:萨甤..
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等等冗/尺。,⋯外延层的过程进行了汽相淀积甅低成反射系数/橐换琑信号可以此,我们引入归一化反射率∥讯ㄒ逦M庋硬用。魑S性辞虳材料引。在使用庋由珿材料时,能够监测整个外延生长过程并精确控制。用于研究材料的外延生长。但以前的研究主要是外延生长过程以及控制材料组份和生长速率的研反射各向异性谱头瓷淦滓丫恢っ具。。本文采用头瓷淦锥訫外延系,通过反射谱在线确定:牧系淖榉和生长速率。并且介绍了一种可以在线确定。牧辖ケ渥榉莩跏贾档姆椒ā逶矗琀,作为载气,生长温度为妫琕/Ⅲ嬉淮瓮庋由珿外延层,组份分别为..,不同组份的,豫引起的各向异性信息并且能够分析外延表面的生长质量,其原理是测量垂直的入射偏振光在立砻嫜豙轴的复反射系数。岬母捶瓷渎氏凳齬⋯。睿ǔS闷骄坌:内所有的原子。在应用时通常仅使用光谱的实部鱮/玫降耐计滓捕际枪馄椎氖挡反射谱可以计算分析三元化合物的生长速率和组份信息。反射率尺定义为人射光强和反射的实际反射率和参考样品的反射率之间的比值。文中,衬底的反射率为参考样品的反射率,和分析生长过程外延层表面信息。三元化合物的生长速率和组份信息可以通过反射率谱进行计算垂直腔面发射激光器¨剖经常使材料的组份和生长速率对提高光电子器件的最终性能是非常重要的。原位监测工具已经被成功应在庋由ぶ惺褂肦研究Ⅲ.宀料信息引,对使用原位监测工具在线监测整个究较少。是在线研究Ⅲ。和作为Ⅲ族源,魑为,反应室压力为。在瓽牡外延层中间分别用层隔开,样品结构如图所示。头瓷淦自梢苑浅C舾械姆从Τ霰砻嬷毓购统方相半导体晶面两个主轴方向的反射光的差别。。对于衬底砻妫琑测量用下式表示浚复反射系数所携带的信息来源于光穿透深度的绝对值。光强之间的比值。但是在ぬ跫拢利用原位监