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不同形状的电流阻挡层对鵏光效的影响曹伟伟,朱彦旭傲幔踅ㄅ螅叶,徐晨发学报鑫,邓光哂刑寤⑹倜ぁ⒖煽啃愿摺⒑牡缌挥、汽车照明、大屏幕显示、电子通信等领域∞摘要:电流阻挡层梢愿纳品⒐舛ü的发光效率和输出光功率,其形状对电流的阻挡作用小等优点¨忠压惴河τ糜谑夷谡彰鳌⒔煌ㄖ随着宽禁带半导体材料墓惴貉芯亢陀τ茫第卷第年文章编号:有影响。本文通过等离子体增强化学气相沉积设备贗/嗔孔于逋庋悠现票噶薙:薄膜,并腐蚀出不同结构作为电流阻挡层:樾巫从隤电极形状相同,槲猋形珻组为点状通过对这樾酒氤9嫘酒亩员龋⑾旨尤隒对小功率牡缪固匦杂跋毂冉闲。⑶业缌髯璧膊形状与金属电极形状相同时对光效的提高最大,:发光二极管坏缌髯璧膊;光效中图分类号:文献标识码:篿痜獁,猯琇琘,┕ひ荡笱Ч獾缱蛹际跏〔抗步ń逃恐氐闶笛槭摇1本珿珼,珺,珻:—.甌.:琯猻琣猻瓵,,瑃.,,—基金项目:北京市教委基金;国家自然科学基金;国家科技支撑计戈资助项目作者简介:曹伟伟,男,山西临汾人,主要从事光电子器件、探测器等半导体器件的研究。.,—.簂—口收稿日期:..;修订日期:——:.
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实验峁胩致其外延技术已经获得重大突破,内量子效率可以达到%以上。但是,。光效卵所消耗的电功率的比值。根据光效定义,提高光效有两种方法:一是提高光通量。二是降低电功率。通常通过退火使电流扩展层氧化铟锡隤—纬膳纺方哟梢源锏浇档电功率的目的。对于光通量的提高,在内量子效率一定的情况下可以通过表面和侧壁粗化,加大光提取效率灰部梢酝ü黾拥缌髯璧以缓解台面边缘的电流拥挤效应奔哟笮片出光部分电流注人并减少鹗舻缂ǘ怨庾的吸收。从而达到提高光通量的目的。层。理论上会导致其电压较常规器件偏高需要综合对比电流电压特性和发光效率,在不同情况下选择不同结构的月阈枰!1疚耐ü不同结构姆⒐舛ü芙醒芯浚J导噬及应用中阻挡层的选取提供了理论依据。利用金属化合物气相沉积设备的,衬底为蓝宝石篛,T谑笛榍埃庋悠用丙酮、无水乙醇超声清洗并煮沸两次,接着用大量去离子水冲洗,以除去外延片表面的油污等有煮沸清洗猿ケ砻娴慕鹗衾胱樱⑻岣子水冲洗干净并用氮气吹干。,为点状。另外,将没有淀积电流阻挡层的常规作为对比器件,。在氮气环境中,将芯片在嫦峦触。采用感应耦合等离子体刻蚀椒ǹ淌缂ǖ絅.、嫱苯ι涑粱齌疉鹘鹗舻馐砸嵌组不同形状腖进行测试,电流与光电转换效率曲线如图尽是光源所发出的总光通量少炼与该光源在金属电极和芯片之间插入龅缌髯璧,这就本实验所用疓多量子阱外延片是机物。然后,用王水,篤虶表面空穴的浓度,这样有利于在后期合金过程形成良好的欧姆接触。最后,用大量去离在外延片上生长腟,作为电流阻挡状一样,猋形,峁菇霰A粼残窝购傅阋韵火J笽和瓹形成良好的欧姆接极。实际器件如图荆叽绱笮∥.。最后将芯片减薄至哑孔樗婊鼋醒购测试。鵏器件图峁苟怨獾缧阅艿挠跋利用实验室中远方第曹伟伟,等:不同形状的电流阻挡层对鵏光效的影响图植煌峁沟腃。峁笰;峁笲;结构,,.///×鹗舻缂吞姹咴