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pGaN退火对GaN基LED外延材料及器件性能的影响.pdf

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pGaN退火对GaN基LED外延材料及器件性能的影响.pdf

上传人:ijfglzx654 2014/4/7 文件大小:0 KB

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文档介绍

文档介绍:捌弓年厦门大学学位论文原创性声明声明人┟:孙丽在文中以适当方式明确标明,并符合法律规范和《厦门大学研究生学本人呈交的学位论文是本人在导师指导下,独立完成的研究成果。本人在论文写作中参考其他个人或集体已经发表的研究成果,均术活动规范孕》。另外,该学位论文为翁组的研究成果,获得翁组鸦蚴笛槭业资助,在笛槭彝瓿伞请在以上括号内填写课题或课题组负责人或实验室名称,未有此项声明内容的,可以不作特别声明。
≯哆年日厦门大学学位论文著作权使用声明/.不保密,适用上述授权。声明人┟:引、丽本人同意厦门大学根据《中华人民共和国学位条例暂行实施办法》等规定保留和使用此学位论文,并向主管部门或其指定机构送交学位论文ㄖ街拾婧偷缱影,允许学位论文进入厦门大学图书馆及其数据库被查阅、借阅。本人同意厦门大学将学位论文加入全国博士、硕士学位论文共建单位数据库进行检索,将学位论文的标题和摘要汇编出版,采用影印、缩印或者其它方式合理复制学位论文。本学位论文属于:.经厦门大学保密委员会审查核定的保密学位论文,年月日解密,解密后适用上述授权。朐谝陨舷嘤ê拍诖颉啊獭被蛱钌舷嘤δ谌荨1C苎宦畚应是已经厦门大学保密委员会审定过的学位论文,未经厦门大学保密委员会审定的学位论文均为公开学位论文。此声明栏不填写的,默认为公开学位论文,均适用上述授权。于
摘要斫氲继宀牧暇哂杏乓斓奈锢砗突灾剩驯还惴河糜谌ú显示、信息指示和照明领域,成为当今半导体技术发展的热点。目前,骷难芯恳丫〉昧司薮蟮慕梗荊的生长和器件制备方面还存在一些困难。筒粼永咽窍拗艷基材料和器件发展的主要因素之一。热退火是用于提高虶空穴浓度的常用方法,但具体的实验条件还有待进一步优化。本文针对牧系腜型掺杂问题,将鵏样品分别在退火的发光二极管方泄庋阅芎偷缪阅艿南低逞芯坑敕治觯基于这些研究本文的主要成果如下:畃电流电压特性的测试结果显示:在较低温度下退火就可以达到与高温退火相似的电学特性。表明两种退火方法都可以实现原子的有效湮鹿庵路⒐獠馐员砻鳎篘呶峦嘶鸹嵩趌量子阱中形成糯兀糯刈魑I畹氖期逶黾恿硕栽亓髯拥氖浚芄唤亓髯痈玫鼐钟蛟谑期中。然而团簇形成的同时也伴随着大量位错的产生,使其孔于逯械位错密度大幅度提高,因此室温下退火样品的辐射复合效率低于退火样品隢呶峦嘶鹣啾龋臀峦嘶鸷驡基男阅艿玫搅私洗蠓的改善,具体表现为:在电光转换效率提高了%。关键词:蝗韧嘶穑篖妫琋瘴峦嘶℃,氛围下退火⒍訬嘶鸷激活。的辐射复合效率。下,.
猟甌··.—甌..鎖瑃簊·,瓵,瓹瑃猼簍浚.:
目录第一章绪论⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯第二章实验方法及原理⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯第三章瓽退火对鵏材料性能的影响⋯⋯⋯⋯⋯⋯..第四章嘶鸲訥基骷阅艿挠跋臁牧系慕峁褂胄灾省鵏的发展现况⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯鵓型掺杂存在的问题⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..瓽热退火的研究进展⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯本论文的研究内容和结构安排⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯参考文献⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯牧仙ぜ际酢高温退火⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯瓽电学特性测试⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.光致发光⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.庵路⒐⒐⒐庀低辰樯堋退火与退火的实验过程⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯一退火与退火对瓽电学性能的影响⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.瓽电极的制备流程⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯缪阅懿馐杂敕治觥退火与退火对孔于骞庋阅艿挠跋臁本章小结⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⒐庠砀攀觥.
第五章结论与展望⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯在学期间发表的论文⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.致谢⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯鵏的制备⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..姆庾啊测试结果与分析⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.匦浴甀特性⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.本章小结⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯参考文献⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..
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