文档介绍：万方数据
衬底和热处理温度对∧さ奈⒐劢峁沟挠跋吴小亮∈炕,杨晓静云·西华大学学报匀豢蒲О縑,具有与嗨频奶匦裕诤芏喾矫嬗钟衅渥陨淼独特性能。募ぷ邮磕艽笤际荊的叮以及环境污染治理等方面具有重要的应用·先进材料及能源·且恢种苯哟犊斫幕衔锇氲继宀料,晶格常数分别,室温下禁带宽度约为,激子束缚能为具备了发射蓝光和近紫外光的优越条件。它不仅室温下激子稳定,更适合实现高效率的发光器件。另外,氧化锌还具有丰富的材料来源、低廉价格、无毒以及很高的化学和热稳定性等优点。因此,在紫外发射器件、紫外光探测器、短波长表面波导器件、气体传感器、高密度信息存储、白光固态照明工程价值‘癩。目前,制备∧さ募际踔饕S谢Х包括化学气相沉积∽⑷芙阂荒悍籫等臀锢矸包括有磁控溅射А⒙龀寮す獬摘要:采用猤法,在普通载玻片和鲜褂眯M扛布际踔票噶司哂蠧轴择优取向生长的薄膜。利用蚐研究了衬底和热处理温度对∧さ奈锵嘟峁埂⒈砻嫘蚊埠定向性的影响。结果表明,猤旋涂法制备的∧のA窍诵靠蠼峁梗AС牡咨仙さ腪薄膜为多晶形态,底表现出更优取向生长特性。随着热处理温度的升高,嵩裼湃∠虺潭戎鸾ピ銮浚Я3叽缰鸾ピ龃螅琙的晶格参数先增加后减小。当温度在媸背こ雒飨缘闹淳Я!关键词:猤法;崛∠颍籞薄膜;热处理中图分类号:.文献标志码:文章编号:———痡..—....,甴琘..珻第卷第·,四川成都;骰4笱茉从牖肪逞г海拇ǔ啥б洞笱Чぱа芯靠疲б—,日本琗甒琧—,收稿日期:基金项目:国家自然科学基金;教育部春晖计划作者简介:吴小亮,男,硕士研究生,主要研究方向为复合薄膜的制备及性能研究。通信作者:丁士华,男,教授,博士,主要研究方向为电子材料与器件。猰篸.,.,:——;猘籞:,甆
万方数据
实验方法结果与讨论均匀性好、易于大面积成膜、化学计量比容易控制普通载玻片和硅片上制备了高结晶质量、强嵩度对∧の⒐劢峁埂⒈砻嫘蚊埠腿∠虻挠跋臁中,在稳定剂单乙醇胺等作用下而形成溶胶溶液。经过综合考虑,本实验前驱体选取二水合乙酸锌搅拌反应均质溶液。得到的溶胶在室温条件下陈化速下向衬底滴加溶液旋转转速下旋转的∧さ腦图谱如图尽S氡曜糧卡片比对所有样品均属六角纤锌矿晶体结构,表明衍射图中都呈现出一个苌浞澹宜孀湃却薄膜的结晶性得到改善。的柱状晶粒。从图、梢钥闯觯蔽随着热处理温度的升高,择优取向程度逐渐增与热力学理论,W原子或原子团诠璩牡最低¨,因此晶粒在娌欢铣ご螅谄渌度下,参与成膜的原子可以得到较高的能量,它们积旧⒎肿邮庋印5。溶胶一凝胶法由于具有等优点,而且工艺简单,易于在原子水平上实现掺杂,可获得理想组分和厚度的薄膜,正广泛地被应用于薄膜的制备。本文采用溶胶一凝胶旋涂法在优取向的∧ぃ芯苛瞬煌牡滓约叭却砦溶胶一凝胶法制备氧化锌薄膜,主要前驱体原料为锌的可溶性无机盐或有机盐如:、珻芙庥谝掖肌⒁叶技酌训扔谢芗,,·,,溶剂选取乙二醇甲醚一榷ḿ裂∪〉,然后将一定质量的二水合乙酸锌缓慢溶解于混合溶液中,其中始终保持单乙醇胺与醋酸锌的摩尔比为,在水浴~℃,本实验所用试剂均为分析纯。采用旋转涂覆技术在筒AС牡咨现备∧ぃ牡追直鹩萌ダ胱铀⒈!⑽匏掖超声清洗℃下快速烘干。先在低转缓笤P纬傻氖Dぴ温度下预处理,然后重复上述过程,本实验