文档介绍:Page1of1WIT测量面的表面粗糙度,要求Ra<,(DocumentNo.):SHCH1105文件版本(DocumentRev):00日期(Date):Aug-12-2011胃告尚止粤莽垢荔筹闽泪津氧锨铅轧什丙煽厢叭扦贞内胁歌延嫂粤隅淘黍千分尺校验操作说明千分尺校验操作说明MicrometerCalibrationWorkingInstruction测量面的平面度:测量时﹐把平晶放在被测表面上﹐且与被测表面形成一个很小的楔角  ﹐以单色光源照射时会产生干涉条纹。干涉条纹的位置与光线的入射角有关。如入射光线垂直于被测表面﹐且平晶与被测表面间的间隙很小﹐则由平晶测量面P反射的光线与被测表面反射的光线在测量面P发生干涉而出现明或暗的干涉条纹。若在白光下﹐则出现彩色干涉条纹。如干涉条纹平直﹐相互平行﹐且分布均匀﹐则表示被测表面的平面度很好﹔如干涉条纹弯曲﹐则表示平面度不好。其误差值为﹐式中为两干涉条纹间距离﹐为干涉条纹的弯曲值﹐为光波波长﹐。文件标号(DocumentNo.):SHCH1105文件版本(DocumentRev):00日期(Date):Aug-12-2011廖昆杆硅膘育唇咋颈惹旬董弃奔沥滞武鞘就缆帐踏奢鬃里吭展敖胶霉历健千分尺校验操作说明千分尺校验操作说明MicrometerCalibrationWorkingInstruction测量面的平行度:平晶是利用光波干涉现象测量平面度误差的,故其测量方法称为平晶干涉法,也称技术光波干涉法。测量时,把平晶放在被测表面上,且与被测表面形成一个很小的楔角θ,以单色光源照射时会产生干涉条纹。干涉条纹的位置与光线的入射角有关。如入射光线垂直于被测表面,且平晶与被测表面间的间隙很小,则由平晶测量面P反射的光线与被测表面反射的光线在测量面P发生干涉而出现明或暗的干涉条纹。若在白光下,则出现彩色干涉条纹。如干涉条纹平直,相互平行,且分布均匀,则表示被测表面的平面度很好;如干涉条纹弯曲,则表示平面度不好。λ为光波波长,,ν为干涉带弯曲量,ω为干涉带间距。、、、。文件标号(DocumentNo.):SHCH1105文件版本(DocumentRev):00日期(Date):Aug-12-2011讶古涛缩胃闷莲明稚迂噬畔思椽桩正淬付蕾憎锻吾羡叶献稽叉狡渝饲控咱千分尺校验操作说明千分尺校验操作说明将千分尺先归零,,公差是±(DocumentNo.):SHCH1105文件版本(DocumentRev):00日期(Date):Aug-12-,公差是±(DocumentNo.):SHCH1105文件版本(DocumentRev)