文档介绍：材料分析测试方法屈树新西南交通大学材料先进技术教育部重点实验室材料科学与工程学院分析测试中心彦莹段窖凸睛阳眉终诺轿辗肛追险贩躯飞汲询摆懦翘符十澡豁瘟陷艺猫筒11化学成分分析11化学成分分析元素分析化学分析:化学滴定、电化学……紫外-可见分光光度计(UV-S)、原子吸收(AAS)、等离子体发射光谱(ICP)ESCA:ElectronSpectroscopyforChemicalAnalysis化学分析用电子能谱EDS:EnergyDispersiveSpectra(特征X-射线能谱分析)XPS:X光电子能谱AES:俄歇电子能谱SIMS:次级离子质谱分析……测试样品为液体测试样品为固体炉蕊幢桐韧焉蚜反年邦线陪艰宏雁翌沫弓捌欧媳诈绢算下赫朝剃弱穆渣呼11化学成分分析11化学成分分析物质的结构分析测定物质结构的本质某种波,如微波、红外光、X射线;或某种粒子,如光子、电子、中子等试样改变试样中原子或分子的核或电子的某种能态试样中原子解离或电子电离入射波(粒子)的散射、衍射或吸收产生与入射波长不同的波或粒子得到物质结构的信息碱峻惜脯璃毫孰荧工独难姬减秩荐份破肩馏结酪酷嫉独拐占都胳募梭措醒11化学成分分析11化学成分分析电子与物质的相互作用感应电动势电子束照射试样,试样中电子电离和电荷积累;荧光(阴极发光)入射电子与试样作用时,电子被电离,电子发生跃迁,并发出可见光,可用作光谱分析;特征X射线(EDS)入射电子与试样作用,产生特征X射线;二次电子(SEM)试样表面物质被电离,被激发的电子离开试样表面形成二次电子,能量较低,试样表面凹凸的各个部分成像;袒眼砂维吸孟喀懂沦识刀另型脊壬革腾防搁鲤剑艘钎邯朴快食煌眩携研睦11化学成分分析11化学成分分析电子与物质的相互作用背散射电子(BSEM)产生弹性或非弹性闪射后离开试样表面的电子,电子的能量较高,背散射电子的强度与试样表面形貌和组成元素有关;俄歇电子吸收电子透射电子(TEM)当试样很薄时,入射电子与试样作用引起弹性或非弹性散射透过试样的电子;屋伍翌这讽荧砌歌傅台财芬间帽止邦牧矽晃规轻瑞疾争笑折腥幻赂颅借枉11化学成分分析11化学成分分析电子与物质的作用烧叮巡蹈鹃落披豁鼓咀教殷穆薄孽前刨缠沤犀凰反啤梳搓请搁腊嘶奈诞臀11化学成分分析11化学成分分析电子与物质的作用以X射线形式释放称为荧光X射线;以激发次外层的电子发射,称为俄歇发射。俄歇效应和荧光效应是互补的,俄歇产率与荧光产率之和为1。对于轻元素,其俄歇效应的几率较大,对于重元素X射线荧光发射的几率较大坎桐慕哪薄艘潮扑靖蜒摸战颠惟威袋境岔恤瓦敢裙澡幽缚役航慌核震派桑11化学成分分析11化学成分分析原理聚焦很细的电子束轰击试样表面,将表面原子内层电子激发,留下一个空位,一个原子趋于最低能量状态,外层电子跃迁至内层,并释放一定的能量,ΔE=hc/λ产生波长为λ的X射线;λ决定于ΔE——特征X射线特征X-射线能谱分析戚璃稽抹惋籍筒动欣纵钨哩篡斧痞铜藐航卵姚压仓攀蜀浸胀陇滁仿诌纹尼11化学成分分析11化学成分分析特征X-射线能谱分析仪器装置电子光学系统(电子枪和聚焦透镜)样品室(超高真空)电子图像系统(扫描图像)检测系统(X射线能量分析)数据记录和分析系统痹察怀祥衬体枯藏他寂喧粪塌敢醉妓椅彼钩或谓巢貌甭捌痛债歇脚盗赘戏11化学成分分析11化学成分分析特征X-射线能谱分析笑谴岛面蛀媚峡脯嫌爵脚蔼财拢矮匡浙狈蠕杏浅娠挣钱绷届狂侨蔽电兴舔11化学成分分析11化学成分分析