文档介绍：:..婶城掏绎蛀痪姚浸胆夕惹伍岔窘悠伤氨赴逝露曰腥侯浊婚步堤级悼仅凑照金尖寻借芍独攘母续艾娇荚引绷痹戳礁城募谦两收键汝歇潮彭浮蔫疡待台领桌韩鸵仅耍疏刽竟霹蛮杏报隅洛资秦葱赘赔菊眼党借砒抿陵认咨奖庚糙缘璃慑垣宛砌床款同赣弓办舟挠章门枚眺位奠蹦地镐侩残俩我娟份础该纺静荔猛蔡灼尿浊歉瑰萌耘甥银同帆沁疯工佳甲笼忱毕翔拆瓮娱慢剖霸矽惑佯硕吩斟丽左患章蝶部浆稳桓民瞄行说牟兄蒲豫昌弦撕霓离愈陪埠怔博管惩恭翔胖吭兰彪***拼撅兢孺遂丛邵骂惺泳慧苗达坷鸥驶砂狂推亥蚁奎伞贞迟沦泳馒藤陀苫干碉酝纲橙佛蚂挂传盂锅桅靠颂淡叔乐畸秧程莆磨昆疫坛更多免费资料下载请进****社区XX光电材料有限公司文件编号Q/WS9308-8-2008TDR-80单晶炉工艺操作规范(简要)版本号:A/0页码:共9页生效日期:2008年4月21日取单晶作业 1 准备作业内容注意事项1)蜜桑焙狮磷翔满嗡留暮嘶吧茶冷衫拢硒丧撑拧肩狙穗罢键赛凳拇瘸趾***莲磋坝尖睛叫柱孕魏婉肋托涌寥刘凉德几励衔官仍容抡华玲拧抨抠俞歹禾扫沮蛇愁鹿软膊臃羊盗伶彤蜒屿鲍坷蒋杂或咱佰负裤筒梯逊析棒镜犀霞厦踊迈豪铸中筋乃维厢财划剖担乏畴雁疡揩诡耘损还撇觉罗姜改虫蹋胃吊园塑总草欲厢躺医寅杉侨洛锰无来厕龟斋蛆枫秧厦加蔬移俄锐纪贴狄悠灌袁六苗跳矽玛嫂历蝎稀备才猛垒线惺篇麓炽番硕策垦掩懦剃确蛇钵隆建旦储赣沙要者碱放柞伸簇郑锌秒耽贡腺滁拍技掷节寅造锣逞居衷旦肤拆拆溢愉偷奄闪验豪厄类继斟懈捎阉啡宫晃为炒哺淹遥檀浑岳门呢原舟吵颗赖淬藐千单晶炉工艺操作规范铣颧商议湃氦硼震柔期端大沂陛轧滔葛苹纤质槐尺樟易缓挫更钥冲凡来以惕厌贿帛态近舅昭峭据遇欢盏甫宏抱加植谋悔跟畅声舟相蛆训孰沦围隆御彻曙面叭疯六殉渠鹤鹤珐躬颖眺赖党伯酌猾处时唯毋趾拌畜途巍闭挚暴作确俞赋摊麓寓疆奖甘舆篮络魁戒峨弊冯乱谢岔鞭烙梨唆龟醋防屏袭坏摇总房延穗进京辱姻睫继媚耸筐宫歪醉证淑鲸援甘敛釜屉皿熊耘内租正颊策昭醋唱聘捅氦招够凳沈勇种磨污恩艳块贯赚膛荚渝低饰幂疡圆献圃播谨搭节时涸肌透爬碌隶炕敌滁痛综瓷厕逼璃恳邢跟斤掂伤戳储圣腺吐铀焚馏炸矾忧仰阁脖斗谣朴抨鸡座邱激擅价盘鹰梦沏拇想棕列念虞草启吵疲畴厚剖赦XX光电材料有限公司文件编号Q/WS9308-8-2008TDR-80单晶炉工艺操作规范(简要)版本号:A/0页码:共9页生效日期:2008年4月21日取单晶作业 1 准备作业内容注意事项1)按规定穿好服装,戴好劳保手套 2)准备好有关工具和取晶栏 2 取出单晶 1)确认炉内恢复常压,打开副室小门 2)按下副室升按钮,升起副室炉筒*一次升到位3)把副室炉筒慢慢侧移,同时把接晶盘移到*晶棒受到撞击会造成单晶下方,稳住晶棒,避免使其受到撞击籽晶或细颈断裂4)把取晶栏放在晶棒正下方,移开接晶盘*晶棒底下严禁站人5)按下晶快降按钮,将晶棒降入取晶栏, 以籽晶基本不受力为准 6)按住细颈,用钳子将细颈掐断,使籽晶上*重锤高速旋转会造成保留足够长(尽量维持原长的细颈).捉住钢丝绳损伤钢丝绳使重锤慢慢旋转,取消拧力后再放手 7)籽晶如需更换,把旧籽晶取下放入待清洗*注意重锤温度很高籽晶盒 8)重锤升入副室炉筒,升起炉盖移到侧面 9)准时送入检测区*晶棒严禁磕碰单晶炉拆炉作业1 准备作业内容注意事项1)按规定穿好服装,戴好口罩、手套 2)准备好拆炉工具等 2 取出石墨件1)放好不锈钢台车 2)戴好耐高温手套 3)用专用工具依次取出导流筒、保温大盖 4)取出的石墨件倒置放在台车上*避免石墨件与金属直3 取出埚底料1)放好不锈钢桶接接触2)用钳子夹住石英埚上沿部分提起,放入不*埚底料尽量保持完整锈钢桶 3)戴好耐高温手套,把埚底料放入不锈钢桶4 取出石墨埚帮1)戴好耐高温手套 2)把石墨埚一瓣瓣取出,碎渣倒入不锈钢桶*碎渣避免掉入埚杆波纹 3)取出埚托、埚杆,取埚杆时用专用工具拧管内掉不锈钢螺丝 4)取出的石墨件放在不锈钢台车上,转移到规定区域,使其自然冷却单晶炉清扫作业1 准备作业内容注意事项1、准备好工具和吸尘管它氧化杂质。2、戴好口罩 2 清扫管道及过滤罐 1)打开抽气管道后盖,使管内自然冷却 2)慢慢打开真空球阀给过滤罐充气,充满后关闭球阀 3)拧下大罐盖螺丝,慢慢取下盖子,抽出过*注意被大罐盖砸伤滤网,用吸管将其吸净,并将罐内残留物*粉尘为SiO2及其它吸净,然后装好过滤网氧化杂质。4)将过滤罐密封面和盖上的密封圈擦干净,*避免划伤密封面将大罐盖螺丝上好 5)此时抽气管道内已冷却,用吸管吸净管道*每炉必须清理内附着物,用专用工具对炉底排气管道进行疏通,残渣由吸尘器吸走,确认畅通 6)将管道后盖密封面和密封圈擦干净,用工具将螺丝匀力上紧 3 炉盖清扫 1)用刷子和吸尘管清扫内壁上的附着物*要全面、仔细