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柔性衬底上ǖ臀轮票傅腪薄膜的光学和电学特性李晓妮,方芳铉,陈新颖,魏志鹏,李金华,楚学影,王晓华发光报獃琖学猦,—,現,,猵琇—摘要:以二乙基锌和水分别作为金属前驱体和反应物,利用原子层沉积方法谌嵝猿牡咨仙第卷第期年月薄膜,讨论了生长温度对薄膜特性的影响。用和等对薄膜的表面形貌、晶体结构和电学性质进行表征,并且用光谱表征了其光学特性。实验结果表明,随着生长温度臀孪的升高,薄膜的晶体质量和光学特性得到改善。当生长温度为媸保∧こ氏至己玫腸轴择优取向,:籄;生长温度;柔性衬底珻,:甤.:.ご豪砉ご笱Ю硌г海A殖ご·收稿日期:.—:修订日期:..基金项目:国家自然科学基金;吉林省科技发展计划,;高功率半导体激光国家重点实验室基金桓叩妊2┦垦Э频阕ㄏ科研基金;吉林省自然科学基金;吉林省教育厅项目,;长春市国际科技合作计划项目;吉林农业大学科研启动基金资助项目作者简介:李晓妮,女,陕西宝鸡人,主要从事纳米材料制备及表征方面的研究。,.琗瑂甈妫瑃畉盿甐~.。篫;籫籪:.:痜猰簂瓹::,—瑃猘
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