文档介绍：第十章扫描电子显微镜??引言引言??扫描电镜结构原理扫描电镜结构原理??扫描电镜图象及衬度扫描电镜图象及衬度??扫描电镜结果分析示例扫描电镜结果分析示例??扫描电镜的主要特点扫描电镜的主要特点返回首页扫描电子显微镜的简称为扫描电镜,英文缩写为SEM (Scanning Electron Microscope)。SEM与电子探针(EPMA)的功能和结构基本相同,但SEM一般不带波谱仪(WDS)。它是用细聚焦的电子束轰击样它是用细聚焦的电子束轰击样品表面,通过电子与样品相互作用产生的二品表面,通过电子与样品相互作用产生的二次电子、背散射电子等对样品表面或断口形次电子、背散射电子等对样品表面或断口形貌进行观察和分析貌进行观察和分析。现在SEM都与能谱(EDS)组合,可以进行成分分析。所以,SEM也是显微结构分析的主要仪器,已广泛用于材料、冶金、矿物、生物学等领域。引言扫描电镜结构原理1. 扫描电镜的工作原理及特点扫描电镜的工作原理与闭路电视系统相似。扫描电镜成像示意图扫描电镜成像示意图JSM-6700F场发射扫描电镜返回返回2. 扫描电镜的主要结构主要包括有电子光学系统、扫描系统、信号检测放大系统、图象显示和记录系统、电源和真空系统等。透射电镜一般是电子光学系统(照明系统)、成像放大系统、电源和真空系统三大部分组成。,入射电子与试样的原子核和核外电子将产生弹性或非弹性散射作用,并激发出反映试样形貌、结构和组成的各种信息,有:二次电子、背散射电子、阴极发光、特征X 射线、俄歇过程和俄歇电子、吸收电子、透射电子等。样品入射电子Auger电子阴极发光背散射电子二次电子X射线透射电子各种信息的作用深度从图中可以看出,俄歇电子的穿透深度最小,一般穿透深度小于1nm,二次电子小于10nm。