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大气压射频辉光放电中放电稳定性研究.pdf

上传人:ddrdtsv015 2014/3/29 文件大小:0 KB

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文档介绍

文档介绍:东华大学硕士学位论文竺生竺』±学科专业名称论文提交日期培养单位答辩委员会主席学号塞鱼窆窆瘛瘛’
大气压射频辉光放电中一络磊◆东华大学学位论文原创性声明£月丝日竺坦年本人郑重声明:我恪守学术道德,崇尚严谨学风。所呈交的学位论文,是本人在导师的指导下,独立进行研究工作所取得的成果。除文中已明确注明和引用的内容外,本论文不包含任何其他个人或集体己经发表或撰写过的作品及成果的内容。论文为本人亲自撰写,我对所写的内容负责,并完全意识到本声明的法律\结果由本人承担。学位论文作者签名:答:‘一~、.
耋蔓叠签字目期:兰茫褐粒豪俭塑铮豪锾东华大学学位论文版权使用授权书保密口,在——年解密后适用本授权书学位论文作者完全了解学校有关保留、使用学位论文的规定,同意学校保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和电子版,允许论文被查阅或者借阅。本人授权东华大学可以将本学位论文的全部或者部分内容编入有关数据库进行检索,可以采用影音、缩印或者扫描等复制手段保存和汇编本学位论文。本学位论文属于签字日期:不保密口。学位论文作者签名:导师签名:大气压射频辉光放电中放电稳定性研究
大气压射频辉光放电中放电稳定性研究摘要大气压辉光放电是一种热力学非平衡放电,其产生的等离子体温度低,并且在大气压下即可实现,因此在未来工业生产中具有广泛的应用前景。大气压射频辉光放电是当前实现大气压辉光放电的主要形式之一,具有气体击穿电压低和产生的等离子体密度高等优点。为了满足未来工业化应用的要求,需要获得更高效的大气压射频辉光放电,也即高强度均匀辉光放电,但放电强度的提高会导致放电模式的转变,即由均匀稳定的仪放电模式转变为不稳定的诺缒J健1疚闹要通过实验的方法,讨论了在大气压射频辉光放电中的稳定性问题。具体内容概紫韧ü冉想财猩淦导し⑵,说明了放电过程的模式转变现象及其与射频激发频率的关系。进一步研究了激发频率在段诜诺绻ぷ髟诰任榷ǖ慕瞿J较的工作范围,并解释了其中模式转变的机理。研究表明,我们可以采用提高激发频率的方法来增强放电的稳定性。此外,我们还通过比较激发频率中放电在Ⅸ模式下Φ姆⑸涔馄浊慷燃岸杂Φ钠逦露龋碚髁不同激发频率下的等离子体活性和特性。捎寐龀宓髦粕淦倒β始际酰低逞芯苛说髦坡龀逄匦远苑诺缣匦缘挠响。实验在氦气大气压条件下开展,射频频率固定在。通过实验研究检测电流电压主要表征了在不同调制脉冲频率和脉冲占空比ィ情况下,放电击穿电压,稳定放电スぷ髂J的电流电压范围。发现了在特定调制脉冲频率下,放电击穿电压随脉冲占空比降低而提高。而在较高脉冲调制频率下可以采用低脉冲占空比来提高放电稳定性的目的,这也为在大气压条件下获得稳定高效的均匀辉光放电提供了新的技术途径。关键词:大气压射频辉光放电,述如下:射频激发频率,脉冲调制,放电稳定性
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激发频率对等离子体活性和气体温度的影响一⋯⋯一目录大气压辉光放电⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯一⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.第一章:绪论⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯~⋯⋯⋯⋯~⋯.等离子体的分类~⋯⋯⋯⋯⋯⋯笃股淦祷怨夥诺纾慰嘉南住弧第二章:等离子体实验⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.实验装置⋯⋯壤胱犹宀问囊庖濉弧第三章:氩气中射频激发频率对放电模式的影响⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.概述⋯一⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯~激发频率对放电模式的影响⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯第四章:大气压脉冲调制射频辉光放电的研究~一⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.脉冲调制的意义和实施⋯⋯一⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯一⋯⋯⋯⋯~脉冲调制对放电特性的影响⋯⋯⋯⋯⋯⋯一⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯~本章小结⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.等离子体基本概念⋯⋯⋯参考文献菊滦〗嵋慰嘉南大气压射频辉光放电中放电稳定性研究.——
墓季乏荸硕士期间发表文章致谢⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯一⋯⋯灰⋯一唬参考文献第五章总结和展望大气压射频辉光放电中放电稳定性研究....
第一章绪论等离子体基本概念暧擅拦Ъ液臀锢硌Ъ襆用来描述电离气体。等离子体是由部分电子被剥夺后的原子及原子被电离后产生的电子、离子和中性原子或分子组成的离子化气体状物质,它广泛存在于宇宙中,常被视为是除去固、液、气态外,物质存在的第四态。所谓等离子体,是指带电粒子和中性粒子组成的表现出集体行为的一种准中性气体。等离子体呈现出高度激发的不稳定态,其中包括离子有不同符号和电荷⒌缱印⒃雍头肿印F涫担嗣嵌缘壤胱犹逑窒蟛⒉光等都是等离子体作用的结果。对于整个宇宙来讲,