电容失效分析.ppt

文档介绍：电容失效分析第一讲失效物理的概念失效的概念失效定义1特性剧烈或缓慢变化2不能正常工作失效种类1致命性失效:如过电应力损伤2缓慢退化:如MESFET的IDSS下降3间歇失效:如塑封器件随温度变化间歇失效失效物理的概念定义:研究电子元器件失效机理的学科失效物理与器件物理的区别失效物理的用途失效物理的定义定义:研究电子元器件失效机理的学科失效机理:失效的物理化学根源举例:金属电迁移金属电迁移失效模式:金属互连线电阻值增大或开路失效机理:电子风效应产生条件:电流密度大于10E5A/cm2高温纠正措施:高温淀积,增加铝颗粒直径,掺铜,降低工作温度,减少阶梯,铜互连、平面化工艺失效物理与器件物理的区别撤销应力后电特性的可恢复性时间性失效物理的用途1失效分析:确定产品的失效模式、失效机理,提出纠正措施,防止失效重复出现2可靠性评价:根据失效物理模型,确定模拟试验方法,评价产品的可靠性可靠性评价的主要内容产品抗各种应力的能力产品平均寿命失效物理模型应力-强度模型失效原因:应力>强度强度随时间缓慢减小如:过电应力(EOS)、静电放电(ESD)、闩锁(latchup)应力-时间模型(反应论模型)失效原因:应力的时间累积效应,特性变化超差。如金属电迁移、腐蚀、热疲劳