1 / 18
文档名称:

半导体工厂超纯水简报.ppt

格式:ppt   大小:2,140KB   页数:18页
下载后只包含 1 个 PPT 格式的文档,没有任何的图纸或源代码,查看文件列表

如果您已付费下载过本站文档,您可以点这里二次下载

分享

预览

半导体工厂超纯水简报.ppt

上传人:薄荷牛奶 2020/3/8 文件大小:2.09 MB

下载得到文件列表

半导体工厂超纯水简报.ppt

文档介绍

文档介绍:(中央动力厂房)。CUB是半导体工厂的心脏,制程用的水电空调化学品等一般都是从这里输出。运行参数:原水一般水量为195m³/h,最大水量为250m³/h,水压3bar。多介质过滤器(MMF/砂滤)%NaOCl后通过热交换器再次加10%PAC后进入多介质过滤器。。,定期反洗。用途:主要去除不能溶解的悬浮颗粒和胶体杂物。运行参数:产水量最大为250m³/h,,温度20-20℃。玻璃钢水箱(FRP水箱)。(每组两台),一组用于反清洗,一组用于给ACF活性炭过滤器供水。,桶高5m。运行参数:出口压力为7bar,温度为20-30℃。迈博瑞生物膜技术南通有限公司活性炭过滤器(ACF/碳滤),内部填充颗粒活性炭。,正反洗水都回收至废水池,产水为过滤水。用途:再次处理水中不能溶解的悬浮颗粒和胶体杂物。运行参数:产水量为200-260m³/h,出口压力为6bar,温度20-30℃。(阴离子桶)加HCl,后AIX(阴离子桶)加NaOH处理,CIX和AIX可以单独运行。用途:处理水中的阴阳离子。,再生水进入废水池,出水为去离子水。运行参数:产水量为207m³/h,压力为3bar,温度为20-30℃。保安过滤器(SFL)%NaOH后进入保安过滤器。。用途:微滤过滤器保护后端RO膜,不达标的水质和频繁清洗都会影响RO膜的寿命、提升成本。运行参数:280m³/h,,温度21-30℃。反渗透过滤膜(RO膜)。,不达标产水进入过滤水箱,浓水进入废水池。。运行参数:产水水量为248m³/h,出水压力为2bar,温度为21-30℃;浓水水量为18m³/h,出水压力为2bar,温度为24-30℃。,并使用氮气密封。,一组UV供水,一组阴阳离子交换床冲洗水,一组冷凝设备供水。运行参数:产水水量为185m³/h,出口为6bar,温度21-30℃。迈博瑞生物膜技术南通有限公司