衬底温度对硒碲铅薄膜结构及红外光学性能的影响.pdf

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度对硒碲铅薄膜结构及红外光学性能的影响衬底温陈忠祥保李张素英刘定权严义埙红外与毫米波学报斌谢平薄膜的折射率在到之问,消光系数均小于,在波长大于档暮焱夤馄追段В欢ǔ牡孜露瘸粱谋担瑃引言硒碲铅。粲陧诨臀,长波红外光学薄膜已经广泛应用于航天遥感、天文观测、大气监测、光谱分析等多个技术领域,同时,,并且在透光范围内有足够小的吸收,其次要求膜层材料机械性能好,化学稳定性高,,因其优异的光学性能,,提高其机械强度,成为长波红外光学薄膜在实际应用中,:—一—.中国科学院上海技术物理研究所,上海;泄蒲г貉芯可海本摘要:使用法生长的。妮。∞材料在硅衬底上沉积硒碲铅薄膜,采用湎哐苌、电子扫描显微术⒛芰可⑸鋢射线分析对薄膜的结构、,沉积的硒碲铅薄膜为多晶结构,具有明显的择优取向,,膜消光系数具有。,:硒碲铅R弧;光学常数;衬底温度;择优取向中图分类号:.文献标识码:.,,。,:藁厝掌冢基金项目:国家自然科学基金资助项目:——作者简介:陈忠祥,男,江苏姜堰人,硕士研究生,主要研究方向为薄膜光学与技术,甿篴畉ㄑ蹲髡撸篵畇蓿甤琋,珻,:,.甌..觕一..簂籹籶:.·,
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实验笛榻峁胩致似的立方晶体结构,牧系木Ц癯J现并不符合㈠,¨芯勘砻鳎谇μ材料的硬度会随着含硒量的增加而增大,并在戈时达到最大值,,获取硒碲铅薄膜的光学常数,。×媾坠獾墓杵镜渍婵斩任。,衬底温度分别为℃,℃,铂电阻贴紧衬底以实时监测衬底温度,温度监控精度优于±妫使用美国維型傅里叶变换红外光谱仪测量硒碲铅薄膜光谱透过率,测量范围—~,分辨率~.采用洛伦兹谐振子模型对测得的透射谱数据在一馄追段诮心夂希竦梦谇Ρ∧さ墓庋常数A搜橹の谇Ρ∧さ幕浔龋褂肧统》⑸渖ǖ缱酉晕⒕导芭涮椎哪芰可⑸鋢射线分析仪猟斜∧さ淖榉址治龊捅砻婀鄄猓捎肈/型湎哐苌湟墙卸晕谇Ρ∧さ木体结构进行了分析,扫描范围#∧さ难苌峰值非常高,主要有两个衍射峰,说明所沉积的硒碲铅薄膜具有明显的择优生长,∧ぴ裼湃∠蛐韵喽较弱,为了便于比较,图隽似鋁结果与碲化铅曜伎ㄆ谋冉希在对硒碲铅体材料的晶体结构进行研究后,.