文档介绍：た裪妓躖旦圣缓嫖莸乃刻萌芩黉⊥史ㄑ逵剑鱼壁扭理硒究西南交通大学研究生学位论文堡堂亟±超塞查物理菹塑堡麴援年三级姓韭塞墓申请学位级别指导老师级名专业二。一三年五月国内图书分类号:密级:公开.
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嗍噪辻·≯尸学位论支作者签名:名支炭精,老师签名:,;西南交通大学学位论文版权使用授权书本学位论文作者完全了解学校有关保留、使用学位论文的规定,同意学校保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和电子版,允许论文被查阅和借阅。本人授权西南交通大学可以将本论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索,可以采用影印、缩印或扫描等复印手段保存和汇编本学位论文。本学位论文属于C芸冢年解密后适用本授权书;朐谝陨戏娇蚰诖颉敖
嗍嘞昏蔓≥/学位论文作者签名:多移主关西南交通大学硕士学位论文主要工作毕声明本人郑重声明:所呈交的学位论文,是在导师指导下独立进行研究工作所得的成本人完全了解违反上述声明所引起的一切法律责任将由本人承担。本人在学位论文中所做的主要工作或贡献如下:韭畚难芯糠⑾执车腃法制备的挥发和分解是混合进行的,没有明显的温度界限。因此对挥发工艺进行了优化,并先后提出三步加热处理法和两步加热处理法的焖僦票窼蚘缓冲层的技术方案。比较了两步法与三步法和传统法的热处理工艺和外延成相工艺,得出两步法的理论是正确可行的。讲郊尤确ㄖ械目焖倩臃⒐ひ帐牵扒∧ぱ杆僦糜谌芗练械阋韵挛虑温,使溶剂快速挥发。溶剂快速挥发后,利用固态分解原理,将前驱薄膜直接在高温下分解并在钇稳定氧化锆蚵了犸ゾЩ咨贤庋由ぁS呕总工艺时间不足氪彻ひ障啾,节约了大量的时间,满足了低成本连续生产的要求。韭畚难芯苛宋露榷訷单晶基底上和撼宀阃庋拥挠跋欤并对其进行了和馐裕峁砻娌捎昧讲椒ǹ焖僦票傅谋∧け砻嫫整致密,具有立方织构,。韭畚亩曰撼宀惚∧さ耐庋踊斫辛讼低逞芯浚ü扒芤旱姆勰┭苌和外延薄膜在不同时间的苌洌贸隽巳郊尤却矸ǖ耐庋踊硎窃诨子盏下的再结晶外延,两步加热处理法中前期主要是在基底诱导下的成相外延机制,后期再结晶外延机制也起一定作用。最后研究了薄膜与基底的晶格匹配关系和晶格失配度对缓冲层薄膜外延造成的影响。这些结果可以为缓冲层薄膜的后续研究或其他材料的固态外延研究提供理论指导。果。除文中已经注明引用的内容外,本论文不包含任何其他个人或集体己经发表或撰写过的研究成果。对本文的研究做出贡献的个人和集体,均已在文中作了明确说明。
摘要明:本文所研究的膜基体系临界晶格失配度在/.%之间,高于该值时薄膜将关键词:缓冲层;撼宀悖换芤撼粱豢焖僦聘鳎煌庋踊西南交通大学硕士研究生学位论文第本论文以和4恚陬莆榷ㄑ趸或铝酸镧基底上研究探索了缓冲层薄膜化学溶液沉积目焖僦票腹ひ眨⒍云外延生长机理进行了初步探讨。本论文根据固态分解原理,将挥发、分解过程分离,提出并验证了三步加热处理法的工艺方案;并进一步将单独的分解处理工艺减去,使分解过程在外延处理工艺中完成,提出并验证了两步加热处理法的工艺方案,将缓冲层薄膜的ㄖ备的挥发、分解和外延成相总工艺时间缩短到阅凇Q芯拷峁砻鳎跛嵫斡谢液前驱膜中的溶剂乳酸或聚丙烯酸可以在谕耆ɑ臃ⅰT倬庋映上嗟玫降幕冲层薄膜平整、致密,并具有良好的立方织构,其表面均方根粗糙度仅为,其。。这些结果可以为/猋基带上ǖ统杀玖焖僦票竿坎愕继寮际醯目7⑻峁┲苯硬慰肌在快速制备工艺的基础上,本论文对ㄖ票窻撼宀惚∧すひ展讨的固态外延机理进行了研究探讨。研究结果表明:传统ê腿郊尤却矸ㄖ兄要是在基底诱导下的再结晶外延机制;两步加热处理法中前期主要是在基底诱导下的成相外延机制,后期再结晶外延机制也起一定作用。进一步的研究结果表明:在咨鲜侵苯由ぃ贚基底上是晶格旋转。以后再生长。研究结果还表不能固态外延生长;在可以外延生长的失配度范围内,薄膜可以良好外延生长的温度范围主要由薄膜材料本身的热力学性质决定,而与具体失配度的值无关。这些结果可以为缓冲层薄膜的后续研究或其它材料的固态外延研究提供理论指导。
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