文档介绍：扫描电子显微系统scanningelectronmicroscope(SEM)01定义与相关概念02扫描电镜结构与原理03扫描电镜的应用与发展04参考文献*01定义与相关概念电子显微镜Electronmicroscopy(EM)电子显微镜,简称电镜,是一种利用电子束对样品放大成像的一种显微镜,包括扫描电镜(SEM)和投射电镜(TEM)扫描电子显微镜ScanningElectronmicroscopy(SEM)利用二次电子信号成像来观察样品的表面形态的电子显微镜,即用极狭窄的电子束去扫描样品,通过电子束与样品的相互作用产生各种效应,其中主要是样品的二次电子发射。*01定义与相关概念光学系统的最小分辨角——瑞利判据其中λ为波长,D为光瞳直径。如果简单的提高放大倍率,而不分辨细节,这样的显微镜没有意义。D不能做的很大,所以要提高分辨率,就要设法寻找波长更短的波。德布罗意——波粒二象性,电子也可以看成是一种波*01定义与相关概念试样入射光线透射光线反射光线反射光线吸收光线可见光与物体作用电子束与物体作用怎样利用电子与物质的相互作用来进行成像?02扫描电镜结构与原理扫描电镜工作原理图电子光学系统样品室电子学系统电子枪电磁透镜扫描线圈真空系统显示系统电源系统信号电子成像系统简化扫描电镜工作原理图02扫描电镜结构与原理电子枪的热阴极发射的电子受到阳极电压加速并形成笔尖状电子束,其中最小直径10-50um,经过2-3个电磁透镜的汇聚作用,在样品表面汇聚成直径可以小到1-10nm的细束流。电子枪发射电子动态示意图02扫描电镜结构与原理在末透镜上部的扫描线圈的作用下,电子束对试样表面进行扫描。扫描电镜中采用的是逐点成像的图像分解法,电子束在样品上作光栅扫描的同时,显像管中的电子束作同步扫描,扫描区域越小,荧光屏上图像放大倍率越大电子束汇聚系统剖面图02扫描电镜结构与原理二次电子探测图二次电子探头扫描电镜可以接收从样品上发出来的多种信号电子来成像,不同的信号灯电子要用不同的探测器,在高真空工作状态下,以二次电子信号的图像质量最好