文档介绍：Оптико-электронныйизмерительмикроперемещений 光学-,符·符·巴拉诺夫ПрофессорБГУИР,Минск,Бровки,6白俄罗斯国立信息工程和无线电大学教授,明斯克市,博罗夫基大街6号******@,符·伊·伊利林ЗаведующийлабораториейИнститутаФизикиНАНБеларуси,Минск,пр-тНезависимости,68白俄罗斯国家科学院物理研究所实验室主任,明斯克市,独立大街68号******@inel-Содержание目录Общиесведения总则Составмакетаизмерителя测量仪样机的各个组成部分Устройствоипринципработы结构和工作原理Особенностиработы工作特点Программапараметризации参数软件Метрологическаяоценка计量评估Резюме总结Общиесведения总则Оптико-электронныйизмерительмикроперемещенийпредназначендлябесконтактногоизмеренияразмеров,перемещения,положения,профиляповерхностиизделийидеформациипластинкремниявтехнологиибольшихисверхбольшихинтегральныхсхем(БИСиСБИС-VLSIs)光学-电子微动动作测量仪用于产品表面规格、位移、侧面,以及大规模集成电路、超大规模集成中晶圆变形的非接触式测量。Составмакетаизмерителя测量仪样机的各个组成部分ЛТМвключаетвсебя:三角函数激光微动测量仪包括:полупроводниковыйлазермощностью5мВтсдлинойволныизлученияλ=670нм,功率为5毫瓦,辐射波长λ=670纳米的半导体激光器;конденсорнуюлинзу,обеспечивающуюфокусировкулазерноголучанаповерхностьизмеряемогообъекта,将激光焦点投射到被测量物体表面的聚焦透镜;воспроизводящийобъективсфокуснымрасстоянием16мм,焦距为16毫米的显示透镜;корректирующеезеркало,、半导体激光器控制用微处理器单元。ЛТМподключаетсянастандартныйпорткомпьютера,,并将测量信息显示软件下载到计算机上。-–6'。镜头2将半导体激光器辐射聚焦到物体6上。分散在物体上的散射被镜头3集中到互补型金属氧化物半导体接收条4上。物体6移动6'时,物体的图像也随之移动。信号处理器5根据在接收条4上的光点位置计算物体的移动距离。Особенностиработы工作特点ЛТМподключаетсякисточникупитанияиинтерфейсвсоответствиис