文档介绍：、掺杂∧さ闹票讣肮饷性质研究津理工大学研究生学位论文昵胨妒垦学科专业:材料学研究方向:低维无机光电材料的制备与性能研究作者姓名:吴一晨指导教师:密级:.
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钠粕:多辉┳、使用学位论文的规定。,除了文中特别加以标注和致谢之处外,论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果,也不包含为获得其他教育机构的学位或证书而使用过的材料。与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明确的说明并表示了谢意。学位论文作者签名:夷本学位论文作者完全了解有关数据库进行检索,并采用影印、缩印或扫描等复制手段保存、汇编,以供查阅和借阅。同意学校向国家有关部门或机构送交论文的复本和电子C艿难宦畚脑诮饷芎笫视帽臼谌ㄋ得签字日期:如,乞年≥月签字日期:厶辏辉拢疍文件。;月,日
同条件下,.%共掺∧ち髯优ǘ却镂.×锄缱杪ゲ舯萐膊舻腎薄膜的载流子浓度高,电阻率低。这实验采用磁控溅射技术在玻璃与硅咨现票噶薎薄膜、掺杂№薄是由于离子以和姆绞浇雋晶格内,分别替代了“隨的№薄膜对可见光透光率为%左右,满足紫外探测器的要求。根据透光率与吸收M该鞯嫉缪趸铮哂辛己玫牡嫉缧浴⒏叩目杉馔腹庑裕宰贤夤馇苛吸收,适用于红外光与可见光强烈干扰,紫外环境相对干净的环境中。紫外探测技术在人们的日常生活中有着重要的作用,尤其是在可燃性气体尾焰探测、火警探测、光敏皮肤的检测、食品消毒等方面具有不可替代性。目前国内外对于淖贤夤饷粜阅艿研究还鲜有报道,因此开展对∧さ淖贤夤饷籼匦缘难芯烤哂兄匾R庖濉膜和、共掺∧ぁMü齒射线衍射仪、扫描电子显微镜、原子力显微镜、射线光电子能谱仪分别对薄膜晶体结构、表面形貌、表面粗糙度、元素价态进行了分析,并利用霍尔测试仪测量了薄膜的载流子浓度、迁移率、电阻率。、光敏性能。研究结果表明:所制备的薄膜的晶体结构均为体心立方,所有衍射峰均为难苌浞澹⒚有出现第二相。随着衬底温度的增加,单掺的∧ぴ裼湃∠蚓方向,而、共掺的∧ぴ裼湃∠騠1湮方向。随着氧流量的逐渐增加,单掺与、共掺的员∧ぴ裼湃∠⑶艺饬礁鲅苌浞寰⑸⑿∥灰疲得鱏隒粼雍螅琁晶格发生畸变。薄膜的表面形貌、粗糙度与择优取向、晶粒大小有关。∠蛟裼派さ谋膜表面为锯齿状,粗糙度较大。而裼湃∠蛏さ谋∧け砻嫖9饣钠矗植诙较小。随着衬底温度增加,薄膜的晶粒尺寸逐渐增大,粗糙度增加。随着氧流量增加,薄膜的晶粒尺寸减小,粗糙度降低。.%单掺与.%共掺的∧け砻嫘蚊参>獬葑矗植诙冉洗螅笳薄膜表面粗糙度均方根最大为。霍尔测量发现,随着衬底温度的增加,薄膜的载流子浓度增加,迁移率先增加后降低,而电阻率逐渐降低。衬底温度为妫趿髁课..%掺杂∧ぴ亓髯优ǘ却锏阶畲笪.×。耸钡缱杪首钚∥.为薄膜的透光率与载流子浓度、表面粗糙度有关。所制备的薄膜的对紫外光均有很强的吸收作用。载流子浓度越高,表面越粗糙,透光率越低。单掺与、共掺系数、光学带隙问的关系,计算出薄膜带隙。结果发现薄膜的光学带隙与载流子浓度的变化一致,。,为陀诒菊鱅的带隙研究表明所制备薄膜对紫外光的灵敏度与薄膜致密性及表面粗糙度有关,而与,。
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.芯肯肿础—.嬖谖侍狻—:1∧さ闹票腹ひ铡一本文的研究目的和意义⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.一课题研究的主要内容⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..样品制备⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯...∧ぁ样品表征仪器⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯目第一章绪论⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.⋯.一弓浴籰—透明导电氧化物薄膜的基本性质⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..一:的基本性质⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯一。晚的晶体结构⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯一。的电学特性⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯一:—.芙耗悍ā—第二章薄膜的制备与表征⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯引言⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯实验材料与实验设备⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..碚饕瞧鹘樯堋本章小结⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.第三章:1∧そ峁埂⑿蚊病⒌缪в牍庋阅堋引言⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..。薄膜的结构⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.煌牡孜露菼篅薄膜姆治