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新型透明导电薄膜掺杂难兄张剑楠唬钛仗,范翊¨,刘星元光报、订引言发学经形成了以氧化铟、氧化锡和氧化锌为主体材料摘要:利用电子束沉积技术首次制备了氟化铒,粼拥难趸:透明导电薄膜,研究了,甌自从年状畏⑾諧薄膜同时具有透明与导电特性以来‘,对于透明导电氧化物难芯客环擅徒D壳癟薄膜已第卷第期年月文章编号:薄膜的晶体结构、光学特性和电学特性。利用原子力显微镜测试了不同厚度薄膜的形貌,初步研究了薄膜的生长过程。研究发现:薄膜为多晶结构,原子的掺人改变了薄膜的优势生长方向,使薄膜在龇较蛏系纳で魇苹鞠嗤1∧~,电子浓度为×ǎ~范围内的可见光平均透过率为%。关键词:透明导电薄膜;形貌;氧化铟中图分类号:.文献标识码:—”,.:泄蒲г捍笱В本猼現琇.,,猰嚎踤..:琩甌甧甌瑃×—琣.~·ǎ產“~..收稿日期:—.;修订日期:.—基金项目:国家自然科学基金;吉林省科技发展计划资助项目作者简介:张剑楠,女,黑龙江绥化人,主要从事透明导电薄膜的研究。痜.,簍;;猰簔蒳甤,,珻,,甎十
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验峁胩致实光圳、有机光伏口⒁壕允竞统⌒в骞艿。高的功函数对于有机光电器件来说可以降低载流子注入势垒,对于提高器本文采用离子源辅助电子束沉积技术首次制剂后烘干;然后用乙醇乙醚混合溶液寤发速率及薄膜的厚度由ず褚羌嗫兀湎哐苌湟函数..双光束分光光度计测量薄膜透图狪腦图像。从图中看出薄膜为多晶结构,在衍射角口。,.#可知薄膜为典型的立方晶体结构。薄膜在,,、高透过率、易刻蚀等优良特性成为商品化的主流产品。被广泛应用于有机电致发高技术领域。该鞯嫉绫∧さ牡缱杪士梢缘至‘。·,可见光透过率超过%,具有优异的光学和电学性能;但铟为稀有元素,面临原材料耗尽的问题。以氧化锌为主体的∧こ本低廉、光电性能优良,但可靠性和稳定性方面尚存在不足。以氧化锡为主体的∧ぴ虼嬖造价高和难以刻蚀的问题K孀殴獾缱蛹际的不断进步,∧ぴ谔岣吖獾缧阅艿耐币在向多功能方面发展,例如高功函数透明导电薄膜‘,具有弱磁性、水敏、气敏特性的透明导电薄膜等等Ⅲ芯康腁疻疉嗖阃明导电薄膜的方块电阻达到了/。甂发现,在,胁羧隿仍K乜梢蕴岣叨訡和拿舾卸龋羧隤可以提高对。和敏感度。备了粼覫琌,透明导电薄膜,并研究了薄膜的光电特性。薄膜的电阻率为×缱忧ㄒ坡饰ǎ杉馄骄腹饰ァ采用离子源辅助电子束沉积技术制备掺杂,该鞯嫉绫∧ぁJ紫惹逑闯牡住2A衬底和衬底先用去离子水加人洗涤剂加热超声,除去表面灰尘和油脂,用去离子水冲洗掉洗涤舯砻娴挠谢铮蛔詈笤诤焱夂婵灯下烘干。按隝琌,质量比为ソ街粉末混合,用研钵磨匀后置于铜坩埚中。将清洗好的基片置于样品架上。当腔体真空度抽至且基片温度达到媸保蚯惶内通人气体。将高纯度的氩气通人离子源,并向腔体内通入氧气,氩气的流量为痬,氧气的流量为痳Mü箍匾墙惶迥的气压控制在~。当气压稳定后,打开离子源电源,。材料的蒸蒸发速率控制在/笥摇采用