文档介绍：陵压料技大学耐该鞯嫉绫∧さ闹票赣胙芯论文题目:申请学位学科:工学所学学科专业:电力电子与电力传动培养单位:电气与信息工程学院硕士生:陈阳阳导师:史永胜副教授月‘
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耐该鞯嫉绫∧ü粼涌墒沟肸具有优异的光电特性,使其在光电器件上具有重要的应用价值。其中掺杂铝的∧な悄壳把芯孔疃嗟摹R蛭狪的价格较昂贵,且有毒,对人体和自然环境都有一定的影响,所以目前研究的透明导电氧化物薄膜主要以寻找可替代∧さ姆较虺龇ⅰ1疚囊泊友罢铱商娲鶬薄膜的角度出发,,找到最优的参数值使得薄膜的电学和光学特性最好。用、⑺奶秸搿⒌ド欠直鸲远员∧さ慕峁固匦浴⒈面形貌、薄膜电学性能、薄膜光学性能进行分析。实验表明,工艺参数对薄膜的性能具有非常重要的影响,和分别是以和的形式存在的,掺杂并没有改变∧さ南诵靠蠼峁梗薄膜仍具有较虻脑裼湃∠颉6杂诖趴亟ι浞ㄖ票傅腁薄膜,其改变的工艺参数分别为:溅射功率、溅射气体流量、衬底温度。当溅射功率为、氩气流量为、衬底温度为妗⒈∧さ姆阶柚底畹臀./6杂谌芙海法制备的∧ぃ涓谋涞墓ひ詹问#翰粼勇恋闹柿糠质⑼嘶鹞露取镀膜层数。当溶胶浓度为闹柿糠质%.、镀膜层数为层、退火温度为保温,随后在自然环境中快速冷却时制备的薄膜获得最小的方阻值为痭。从实验结果可以看出,用物理方法和化学方法制备的∧ざ急硐出很好的可见光区的透射率,平均值一般都在%以上;薄膜的电学性能差距不大。实验发现,当薄膜的电学性能越好时,薄膜的光学带隙越宽,发生了“蓝移”现象,。同时,通过改变不同工艺参数的值,验证了工艺参数对薄膜的电学和光学性能都有很大的影响。本文从物理和化学两种方法对∧そ蟹治觯峁砻鳎票傅薄膜都具有很好的性能。物理方法制备的薄膜较平整,且周期较短,一般为个小时,实用与大规模生产;化学方法制备的薄膜电学性能还是稍微差.
一点,且工艺参数较难控制,在大面积基体上沉积不均匀。所以不适合于大规模生产。关键词:、方阻、透光率、射频磁控溅射、
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