文档介绍：学位论文作者签名:漪导师躲牛黼签字日期:渐/月学位做作者答名:叶碍独创性声明学位论文版权使用授权书权墨盗墨些盘堂可以将学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索,并采不包含为获得吞鲞墨些盘堂或其他教育机构的学位或证书而使用过的材料。与我一本学位论文作者完全了解丕盗三些盘堂有关保留、使用学位论文的规定。特授签字日期:δ阥月日签字日期:年隆踗日本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作和取得的研究成果,除了文中特别加以标注和致谢之处外,论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果,也同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明确的说明并表示了谢意。用影印、缩印或扫描等复制手段保存、汇编以供查阅和借阅。同意学校向国家有关部门或机构送交论文的复印件和磁盘。C艿难宦畚脑诮饷芎笫视帽臼谌ㄋ得
学位论文的主要创新点单芯片坠夥⒐舛ü艿难芯看笾驴煞治K牟糠郑和庋片生长、管芯结构的设计及制备、芯片的封装以及外延片和芯片的测试。本论文完成了外延片的测试、酒闹谱鞴ひ找约胺庾埃一、在台面刻蚀和淌粗校A耸迪肿罴训目淌葱Ч究翁采用了和单层光刻胶双重掩蔽的刻蚀工艺,并且采用了湿法腐蚀和干法刻蚀相结合的工艺步骤。二、酒腜、缂ǖ呐纺方哟ザ杂贚芯片的性能至关重要,因此本课题优化了电极的金属材料和合金条件,以实现尽可能低的接触电阻,降低器件的开启电压。主要创新点如下:
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摘要好的新兴产品,广泛应用于各个领域,将成为世纪的新一代光源——第四代白光发光二极管墙昀捶⒄寡杆俚目杉釲,因其具有节能、高效、寿命长、无污染、瞬时启动和快响应等优点,因此是抵凶畋豢固体照明光源。本文详细阐述了姆⒄埂⒐ぷ髟怼⒐谕獾难芯肯肿醇坝τ梅段А研究了单芯片坠釲的材料结构设计、外延生长、材料性能测试和版图设计。探索出一套适合实验室工艺条件的芯片制备方案,成功地制各出单芯片坠釲芯片,并进行了器件的特性测试。本文所做的主要工作有:趚蛹际踅辛斯惴貉芯康幕∩希治隽说バ酒珿基白光外延片的材料结构,并对本论文所用的外延片进行了相关的测试和分析。缘バ酒珿基白光辛税嫱忌杓啤谑笛槭夜ひ仗跫拢兄瞥龅バ酒珿基白光酒9ひ瞻ǎ光刻、湿法腐蚀、干法刻蚀、砘齋⒄舴⒔鹗簟胍约翱焖偃韧火。摸索出较好的湿法腐蚀、干法刻蚀、蒸发和合金等工艺参数,有效地降低了电极的接触电阻,提高了芯片性能。灾票负玫墓苄窘辛朔庾啊灾票负玫墓苄荆辛讼喙氐牡缪Ш凸庋Р馐裕⒍允笛槭萁辛分析与说明。关键词:白光发光二极管;桓煞ǹ淌矗皇7ǜ矗煌嘶
.甌甌琱.:珿,蒭,瑃瓻猙:珹甌瑆,疭琍,琹琩琫瓸,猣琲,.,琲,瑃.:
⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯第一章引言⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯一发光二极管牡捌浞⒄埂姆⒐庠砑盎窘峁埂姆⒐庠怼幕窘峁埂白光姆⒄辜拔夜媪傥侍狻本论文研究内容⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯一第二章鵏材料⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯半导体材料发展简介⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.肿邮庋⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..饣锲嗤庋庋映牡椎难≡瘛鵏外延片结构及其发展⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯第三章单芯片坠夥⒐舛ü堋白光发光二极管技术简介⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.坠夥⒐舛ü艿募际醣尘啊.ü夥圩;恍偷陌坠釲⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..恍栌ü夥圩;恍偷陌坠釲⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.
.湿法腐蚀⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.干法刻蚀⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..ù备⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..金属淀积工艺⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.合金工艺⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.器件的版图设计⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.芯片制备工艺设计⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..バ酒坠釲的团纺方哟ァ庾凹际酢!庾凹际醯姆⒄埂庾肮ひ樟鞒獭第五章单芯片坠夥⒐舛ü⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.析⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯一〗帷⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯一.⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯...........................................⋯....................⋯.........