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激光晶化多晶硅薄膜的研究.pdf

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文档介绍

文档介绍:蠢媳夫淫硕士学位论文激光晶化多晶硅薄膜的研究南开大学研究生院二狾年五··中图分类号:一
怫幡㈣舢眦南开大学学位论文使用授权书年南开大学研究生学位论文作者信息根据《南开大学关于研究生学位论文收藏和利用管理办法》,我校的博士、硕士学位获得者均须向南开大学提交本人的学位论文纸质本及相应电子版。本人完全了解南开大学有关研究生学位论文收藏和利用的管理规定。南开大学拥有在《著作权法》规定范围内的学位论文使用权,即:换竦谜弑匦氚垂娑ㄌ峤谎宦畚ㄖ街视∷⒈炯暗缱影,学校可以采用影印、缩印或其他复制手段保存研究生学位论文,并编入《南开大学博硕士学位论文全文数据库》;=萄Ш涂蒲心康模?梢越公开的学位论文作为资料在图书馆等场所提供校内师生阅读,在校园网上提供论文目录检索、文摘以及论文全文浏览、下载等免费信息服务;萁逃坑泄毓娑ǎ峡4笱教育部指定单位提交公开的学位论文;宦畚淖髡呤谌ㄑO蛑泄萍夹畔⒀芯克中国学术期刊馀电子出版社提交规定范围的学位论文及其电子版并收入相应学位论文数据库,通过其相关网站对外进行信息服务。同时本人保留在其他媒体发表论文的权利。非公开学位论文,保密期限内不向外提交和提供服务,解密后提交和服务同公开论文。论文电子版提交至校图书馆网站:://..:本人的学位论文是在南开大学学习期间创作完成的作品,并已通过论文答辩;提交的学位论文电子版与纸质本论文的内容一致,如因不同造成不良后果由本人自负。本人同意遵守上述规定。本授权书签署一式两份,由研究生院和图书馆留存。作者暨授权人签字:姚题论文题目激光晶化多晶硅薄膜的研究姚颖年论文类别硕士专业学位口高校教师口同等学力硕士口院/系,:天津市河西区大沽南路秋润家园是否批准为非公开论文注:本授权书适用我校授予的所有博士、硕士的学位论文。由作者填写皇搅椒签字后交校图书馆,非公开学位论文须附《南开大学研究生申请非公开学位论文审批表》。姓名学号答辩日期博士口学历硕士一专备注:否馡¨馡
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非公开学位论文标注说明姚题本人郑取得的研究含任何他人创作的、已公开发表或者没有公开发表的作品的内容。对本论文所涉及的研究工作做出贡献的其他个人和集体,均已在文中以明确方式标明。本学位论文原创性声明的法律责任由本人承担。学位论文作者签名:年根据南开大学有关规定,非公开学位论文须经指导教师同意、作者本人申请和相关部门批准方能标注。未经批准的均为公开学位论文,公开学位论文本说明为空白。论文题目申请密级口限制年口秘密口机密年审批表编号批准日期保密期限月日至日限制★最长辏缮儆年秘密★年畛年,可少于机密★年畛辏缮儆
备出术。本论技术作为主要研究内容,进而提出了几种新型的激光晶化技术。希望能掌握我国激光晶化技术的自主知识产权,同时也发展了一些新颖的激光晶化技术,为此技术的整体发展贡献一点力量。本论文的第二章通过建立数学模型对激光晶化非晶硅薄膜的温度场进行数值模拟运算,发现样品本身的性质和入射激光的参数是影响晶化后薄膜质量的两个重要因素