文档介绍：第卷第期电子显微学报.。.
年月.
文章编号:—
溶胶一凝胶法制备钻铁氧体薄膜及温度
对其磁性的影响
严富学,赵高扬,刘和光
,.材料学院,陕西西安
摘要:采用溶胶一凝胶法在单晶硅上制备了钴铁氧体薄膜。在不同温度下对样品进行了退火处理,通过射线
衍射仪、扫描电子显微镜、透射电子显微镜和振动样品磁强计等分析了样品的物相组
成、晶粒大小、表面形貌、样品厚度及不同温度下的磁性能。结果表明:制备出的薄膜为尖晶石结构,表面
比较致密,平均晶粒尺寸~。在~ 范围内,随着温度的升高,钴铁氧体薄膜的矫顽磁场逐步减
小,而磁矩是先增加后减少,并对产生的原因进行了分析。
关键词:薄膜;铁氧体;溶胶一凝胶法;磁性能
中图分类号:; 文献标识码:
磁性铁氧体薄膜是广泛应用于磁记录及电子电和℃下回火即得到所需样品。
路的磁性材料。
度及良好的化学稳定性和耐磨性的尖晶石结构的亚辨透射电子显微镜进行物相测试;
铁磁性氧化物,可作为高密度磁光记录薄膜材料和场发射上进行形貌观察;利用物性测试
锂电池材料。仪的振动样品磁强计,分别在、、、
目前大多采用脉冲激光相沉积、射频溅、、和下测定样品的磁性能。
工三艺简单笔:. 结果与分析
, 成膜性较好,因此本研究采用该法制备钴一”。
铁氧体薄膜。另外,:薄膜经常应用于不同. 铁氧体薄膜的射线衍射分析
的温度环境下,但是,其薄膜的磁性能随温度的变化的测试的条件是:,管电压,管
规律还较少报道。本研究在单晶硅基底上采用溶胶电流。图是采用掠射法入射角。测定
一凝胶法制备出前躯体,然后采用提拉法制备钴铁的不同回火温度下的图。掠射法是测定薄膜
氧体薄膜,并采用体积单位下的磁矩来量化样品的样品的常用方法,它可以有效地去除基底材料的衍
磁性能。同时,本文还研究了薄膜在~温射峰对测试结果的影响。该方法是固定测角仪的入
度条件下的磁性能及磁性参数随温度的变化规律。射角根据样品的厚度选择,一般不大于。,样品
. 不动,只有接收器旋转。从图可见,在℃时,
啦样品开始结晶,%结晶度增加,%时结晶已经
按比例称取适量的· 和基本完全,和标准的卡片对照,可确定样品为
。.,溶解于乙二醇甲醚中,然后放到具有尖晶石结构的:相。
磁力加热搅拌器上,在条件下搅拌,再由谢乐公式可计算样品的平均尺寸:
加入适量的乙酸酐脱水,少许乙醇胺增加溶液粘稠,: 生、
度。然后,再将溶液放到磁力加热搅拌器上搅拌一
,最后向溶液中加入乙二醇甲醚至.。/,搅其中·,·,卢样品的半峰宽,卢。
拌后获得的稳定前驱体溶液。随后采用提拉法反复仪器半峰宽,布拉格衍射角。由式计算的不同
提拉次获得薄膜样品,再将薄膜分别在℃、退火温度时样品的平均晶粒尺寸见表。
收稿日期:;修订日期:
作者简介:严富学一,男汉族,河南周口人,博士研究生,讲师
第期严富学等:溶胶一凝胶法制备钴铁氧体薄膜及温度对其磁性的影响
棒状的生长方式不同。样品表面相对致密,平均
粒径在—,与计算结果基本一致。从
图可测出总的膜层厚度约。
. 透射电子显微镜观察
采用对样品进行观察,图为膜层选区电
子衍射图及标定结果。由图