文档介绍：中国科学技术大学
硕士学位论文
ZnO薄膜的溶胶凝胶法制备工艺及其性能的研究
姓名:谢学武
申请学位级别:硕士
专业:凝聚态物理
指导教师:廖源
20090501
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摘要氧化锌且恢种苯哟犊斫族化合物半导体材料,具有较大的激子束缚能,可以在室温下实现紫外光的受激发射,为短应用依赖于高质量,低成本的∧さ闹票浮;诖耍疚牟捎萌芙耗悍究了预处理温度的不同对∧さ慕峁购凸庋灾实挠跋臁Mü訸薄第六章,总结整个论文工作得到的重要结论,提出今后继续研究这一工作波长发光器件和激光器应用提供了广阔的发展前景。乓斓奶匦院凸惴旱制备出高质量的∧ぃ芯咳芗梁腿却砉潭杂赯薄膜结构形貌及其光学性质的影响,并通过对制备∧さ谋湮鹿庵路⒐夤媛傻姆治觯沂了∧さ淖贤夥⑸浜涂杉夥⑸涞目赡芊⒐饣啤第一章。简述了幕窘峁购突拘灾剩票竄薄膜常用的几种方法,比较了他们之间的优缺点。回顾了近年来国内外∧さ挠τ梅矫娴发展,并提出本论文的工作意义和创新点。第二章,主要介绍了用于制备∧さ娜芙耗杭际醴⒄估罚驹理及成膜方法。最后介绍了本论文用到的测试手段及其工作原理。第三章,讨论了用溶胶凝胶法制备∧さ挠跋煲蛩兀⑾晗阜治隽嗽相同工艺条件下,不同溶剂对生长的∧さ慕峁埂⑿蚊埠凸庋灾实挠跋欤指出并讨论乙二醇甲醚是生长高质量的∧さ暮鲜嗜芗粒⒍云渖せ进行了研究。第四章,主要讨论用乙二醇甲醚作为溶剂制备∧ぃ捎萌椒ǔ粱∧ぃ⒎治鲎詈蟮娜却砦露鹊牟煌訸薄膜的影响,发现最后的处理温度在娓浇艿玫浇峁购凸庋灾视乓斓腪薄膜。第五章,采用两步法生长∧ぃ谌韧嘶鹞露认嗤那榭鱿拢晗秆膜变温光致发光规律的研究,探讨了室温下∧さ淖贤夤夥⑸浜涂杉夥射的可能发光机理。的方向。关键词:氧化锌薄膜,溶胶凝胶法,嵩裼湃∠颍庋灾
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作者签名:缚甓嘣虏中国科学技术大学学位论文相关声明本人声明所呈交的学位论文,是本人在导师指导下进行研究工作所取得的成果。除己特别加以标注和致谢的地方外,论文中不包含任何他人已经发表或撰写过的研究成果。与我一同工作的同志对本研究所做的贡献均已在论文中作了明确的说明。本人授权中国科学技术大学拥有学位论文的部分使用权,即:学校有权按有关规定向国家有关部门或机构送交论文的复印件和电子版,允许论文被查阅和借阅,可以将学位论文编入有关数据库进行检索,可以采用影印、缩印或扫描等复制手段保存、汇编学位论文。保密的学位论文在解密后也遵守此规定。
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第一章绪论幕疚锢硇灾屎突且恢中滦偷目斫氲继宀牧希哂杏乓斓奈锢硇灾屎突灾省从年发现氖椅伦贤饧す庖岳矗訸的研究一直是人们关注的中心。人们对牧现杂腥绱舜蟮男巳ぃ胨艽蟮募ぷ邮磕有关,进而导致在室温下也能存在基于激子复合的激光发射】。虽然牧在许多领域具有很大的应用潜力,然而对牧系难芯考甘昵熬鸵丫J迹比如木Ц癯J缭昃捅籅研究过,同样木Ц裾穸谱及其详细的光学性质也很早的都被研究过【】。在研究牧系耐保们还注意发展生长牧系姆椒ǎ欢仙こ龈咧柿康腪材料,较有代表性的生长方法有化学气相传输】、水热法】和气相生长法【等方法。牧纤淙挥芯薮蟮那痹谟τ眯裕欢谘芯縕材料的过程中,发现要实现牧系墓惴河τ茫勾嬖谥疃辔侍狻@纾壳爸票傅膎型材料在已基本达到应用要求,但却很难制各出可以达到实际应用要求的嫉绮牧希虼四芊裰票赋龈咧柿康腜型牧鲜悄壳把芯康囊桓鋈鹊恪在睦砺垩芯恐幸泊嬖谝恍┪侍猓绕涫窃赯材料的缺陷上的研究,一直存在这争论,对于什么类型的缺陷主导牧系膎型导电及其绿光发射一直在研究中,目前仍没有统一的定论。本章根据相关文献的调研,深入讨论了牧系幕疚锢硇灾屎捅砻婊学性质及其缺陷和偷嫉缂肮庋灾实墓叵担⒆胖亟樯芰薢薄膜的制备方法和应用前景,最后提出本论文的主要研究内容及其创新点。。而对于蚓哂腥纸峁梗直鹗窍诵靠螅列靠蠛脱已谓峁埂F渲凶钗榷ǖ氖纤锌矿结构,绝大部分研究都集中在纤锌矿结构的厦妫诤竺嫠岬降侵赶诵靠蠼峁埂A较诵靠蟮腪结构如图所示,它有一极性六角轴幔较蚱叫杏赯轴。初基原胞平行矢量蚥位于甕面,长度相等方向互成!第一章绪论.
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,谋砻婊灾牡闳罕昙俏或者埃占淙何狿蛘遚啊?梢钥吹组成一个个四面体。从方向来看,逵山惶娉鱿值乃诿芘面婧蚈面槌桑帕蟹绞轿狝。这种排列方式使得成为极化晶体,极轴方向为。所以一般情况下,在纳す讨校沿方向生长最快。室温下某趸噶康闹担゜兴ɡ搿】。自然界中奈榷ù嬖诘木臀A窍诵靠蠼峁梗母鲋饕5牡兔桌罩数支配方面是—极性面。和两个非极性面。其具体结构如图尽=昀矗琀珻琋任藁》肿釉谄涿奈奖甘芄刈ⅰMǔG榭鱿耑晶体沿最稳定的面解离,此面由相同数目的、幼槌桑⑶襷蚈原子形成的二聚体