文档介绍：基于峁共问腡D庋芯工学硕士学位论文~■硕士研究生:王玲导师:殷景华申请学位级别:工学硕士学科、专业:微电子学与固体电子学所在单位:应用科学学院答辩日期:月授予学位单位:哈尔滨理工大学国内图书分类号:搴。毋.
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人三宁二陋多彳∥乞眵驭哈尔滨理工大学硕士学位论文原创性声明日期:加,,年才月哈尔滨理工大学硕士学位论文使用授权书日期:如晁暝聑罗同岁月跞釜登元《基于峁共问腡D庋芯俊废当救嗽诠趵砉ご笱Ч同期:畂¨年本人郑重声明:此处所提交的硕士学位论文《基于峁共问模拟研究》,是本人在导师指导下,在哈尔滨理工大学攻读硕士学位期间独立进行研究工作所取得的成果。据本人所知,论文中除已注明部分外不包含他人已发表或撰写过的研究成果。对本文研究工作做出贡献的个人和集体,均已在文中以明确方式注明。本声明的法律结果将完全由本人承担。作者签名:读硕士学位期间在导师指导下完成的硕士学位论文。本论文的研究成果归哈尔滨理工大学所有,本论文的研究内容不得以其它单位的名义发表。本人完全了解哈尔滨理工大学关于保存、使用学位论文的规定,同意学校保留并向有关部门提交论文和电子版本,允许论文被查阅和借阅。本人授权哈尔滨理工大学可以采用影印、缩印或其他复制手段保存论文,可以公布论文的全部或部分内容。本学位论文属于保密口,在年解密后适用授权书。不保密团。朐谝陨舷嘤Ψ娇蚰诖颉名者师作导、▲
基于峁共问腡D庋芯摘要在工艺方面还不够成熟。国外的器件由于性能优良及自主产权的优势占据了巨随着电力电子技术的高速发展,高性能和高电压β势骷淖饔正日益显现出来。近年来我国在β势骷难兄品矫嫒〉昧私梗大的市场份额。因此,对工艺流程及工艺控制的研究具有现实意义。本文选取国外一种典型的钠骷击穿电压、阈值电压。用浓硫酸热分解法去除封装及芯片表面的铝层,分析内部引线;通过扫描电镜对芯片表面和横断面进行观察测试,提取器件的表面结构参数及纵向结构参数。基于提取的结构参数,利用砑腁?樯杓乒ひ樟鞒碳丁艺条件,仿真得到脑0峁鼓P停ǚ抡娴玫降慕峁既氲狡骷仿真模块校栽0淖R铺匦浴⑹涑鎏匦浴⒒鞔┑缪埂⒖9厥奔涞参数进行器件仿真。仿真结果得到0幕鞔┑缪乖嘉兄电压约为F羰奔湮.,关断时间为通过结构剖析、工艺仿真、器件仿真三个步骤完成一次逆向设计。分析栅氧厚度、宀粼优ǘ群屯饨缥露鹊榷云骷阅艿挠跋欤峁砻鳎核嬲ぱ趸层厚度及迮ǘ鹊脑黾樱骷淖R铺匦灾鸾ビ乙疲兄档缪乖龃螅磺毅兄电压随栅氧化层厚度的增大而线性增大;在.℃温度范围内,阈值电压随温度的升高而下降。关键词晃⒐劢峁梗还ひ漳D猓黄骷抡哈尔滨理工人学丁学硕:貉宦畚
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目录摘要⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.第滦髀邸电力电子器件的发展⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯课题背景⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯...哐筕的发展⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯挠τ谩国内外发展现状⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯本课题的目的和意义⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯课题的主要内容⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯第耉结构与特性分析⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯骷墓ぷ髟怼元胞结构设计分析⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯┨⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.第耉性能与结构剖析⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯器件的电性能测试⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.┨⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.芯片表面分析⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.至⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.哈尔滨理搜Чぱ叮甪宦畚
芯片断面结构⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.本章小结⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.第略0峁构ひ丈杓萍胺抡妗工艺仿真软件⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯工艺流程设计⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯ひ漳D狻沟道效应⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯一第耉元胞的电学特性仿真⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯#⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.鞔┨