文档介绍：适用于ǜ衅鞯腄/疭痁/金刚石多层膜研究天津理工大学研究生学位论文昵胨妒垦学科专业:研究方向:作者姓名:指导教师:物理电子薄膜电子器件及技术肖琦杨保和教授年月分类号:密级:
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彻不知崎疗拍年/独创性声明学位论文版权使用授权书尚为墨盗堡墨太望天津理工大学有关保留、使用学位论文的规定。特授权天盗理工大学取得的研究成果,除了文中特别加以标注和致谢之处外,论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果,也不包含为获得或其他教育机构的学位或证书而使用过的材料。与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明确的说明并表示了谢意。学位论文作者签名:签字日期:冢珼年编入有关数据库进行检索,并采用影印、缩印或扫描等复制手段保存、汇导师签名:痮年本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作和本学位论文作者完全了解可以将学位论文的全部或部分内容编,以供查阅和借阅。同意学校向国家有关部门或机构送交论文的复本和电子文件。C艿难宦畚脑诮饷芎笫视帽臼谌ㄋ得滤阷日H月
摘要化学毒气是严重威胁人的生命安全的一类气体总称。因此,需要在有人工作和生活的环境中实时高效的检测周围气体中有毒成分的含量。特别是对那些极有可能发生中毒事件的高危地区。声表面波气体传感器以其高灵敏度,响应速度快,体积小,成本低,易携带等优点,在众多气体传感器中脱颖而出。特别是高担薷膊愕腟气体传感器,有着更高的检测灵敏度。但是,无覆层ǜ衅鞯娜钡闶且资艿剿蒸气分子的影响,产生失真的噪声信号,在一定程度上影响了ǜ衅鞯木范取类金刚石∧ぞ哂懈哂捕龋叩缱杪剩呷鹊悸剩湍Σ料凳约坝乓的化学稳定性和抗腐蚀能力。它极不亲和水分子的特性,也使得它可以有效的排除水蒸气的噪声干扰,提高无覆层ǜ衅鞯募觳饩ǘ取M保嘟鸶帐さ闹票妇有沉积温度低,沉积速率高,膜表面光滑平整,能大面积沉积,衬底选材广泛,设备简单等特点,也使其成为声表面波器件保护膜的最佳选择。本文采用磁激励射频等离子体增强化学气相沉积的方法..,围绕着类会刚石的制备,做了以下工作:⒃谑椅孪拢直鹪诓AШ凸牡咨铣粱徊憷嘟鸶帐∧ぁ2⑼ü电镜盗⒁逗焱夤馄屠馄对类金刚石膜的一些特性进行了表征。从大量的实验数据中,总结出在反映压强为,入射功率为疉/的实验条件下制备的含氢类金刚石薄膜表面平整,结构致密,膜基结合度良好,薄膜中以V鳌⒁訸/和鸶帐嗖隳そ峁刮D勘辏紫炔捎么趴亟ι浞ㄔ赟徒刚石衬底上生长∧ぃ缓笤僭赯/和岣帐峁股希捎肦法沉积类会刚石膜,并对多层膜结构的各层进行了碚鳌J笛楸砻鳎嗖隳そ构中,各层膜结构之间的结合度良好。⑻岢隽嗽谖磁坠饨鸶帐牡咨铣粱嗷岣帐さ纳柘耄⒆隽顺醪降奶剿鳌=果表明,沉积个小时以后,金刚石生长面由于过于粗糙,没有明显变化。但是金刚石与衬底的接触面的形貌得到一定改善。总之,本文对さ闹票缸隽酥饕5难芯浚⑼ü幌盗械牟馐裕范―膜的最佳制备工艺。对痁/,痁/金刚石和鸶帐嗖隳ぷ隽顺醪的探索。为低温沉积さ墓ひ找约拔薷膊鉙气体传感器的研究奠定了基础。关键词:宕ǜ衅鳎偶だ琑甈,嗖隳
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录目无覆层声表面波气体传感器的系统介绍⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯...Ф炯恋奈:⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.咚偕追ǖ南低辰峁埂声表面波传感器的结构与工作原理⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯...ùǜ衅鞯幕窘峁埂声表面波传感器的发展现状⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯...夥⒄⒄瓜肿础本课题的研究意义及主要工作⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯第二章类金刚石膜的性质及制备方法⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..类金刚石的结构与性质⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯~.∧ぶ票钢写嬖诘钠毡槲侍狻类金刚石的制备方法⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯第三章类金刚石膜的表征及特性分析⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯结构分析⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.焱飧盗⒁⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..本章小结⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..
第四章痁/和痁/会刚石多层膜结构的制备初探⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯多层膜的制备⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.笛樯璞