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适于SAW器件“AlN硅”“AlN金刚石”多层膜制备及结构性能研究.pdf

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适于SAW器件“AlN硅”“AlN金刚石”多层膜制备及结构性能研究.pdf

上传人:coconut 2014/5/16 文件大小:0 KB

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适于SAW器件“AlN硅”“AlN金刚石”多层膜制备及结构性能研究.pdf

文档介绍

文档介绍:天津理工大学
硕士学位论文
适于SAW器件“AlN/硅”“AlN/金刚石”多层膜制备及结构性能
研究
姓名:纪红
申请学位级别:硕士
专业:微电子学与固体电子学
指导教师:杨保和
20091201

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