可见光波段飞秒激光双光子微纳加工.pdf

文档介绍：第 卷 第 期 量 子 电 子 学 报 ．．
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可见光波段飞秒激光双光子微纳加工
陈 述一，郑美玲，董贤子，段宣明 ，赵震声
中国科学院理化技术研究所， 北京 ；
中国科学院重庆绿色智能技术研 究院， 重庆 ；
中国科学院大学， 北京
摘 要 ： 基于矢量衍射理论，计算了多个可见光波段激光经紧聚焦后 在焦点附近 的双光子点扩散 函数。计算
结果表 明，双光子 吸收效应的作用 区域随着波长的减小而 减小 。采用多个可见光波段飞秒激光光源进行了双光
子光聚合加工 ，并对加工分辨率和加工 阈值进行 了分析。实验结果表 明，在每个激 光波 长条 件下 ，降低光子流
密度 能够提高加工分辨率；随着加工波长的减小，双光子跃迁过程逐渐满足近共振跃迁条件