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上传人:cby201601 2021/10/21 文件大小:72 KB

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文档介绍

文档介绍:2
半导体工厂施工组织设计
19. 1工程概况
19.
本项目工程名称为X X半导体有限公司第2. 5代TFT生产线新建工程。其中主厂房为 三层结构,中间区域为生产用洁净厂房,两侧为辅助区域,结构形式为框架结构。其他厂 房还包括造排水栋、动力栋和其他辅助建筑。
本项目工期要求为XX年X月X日具备工艺设备搬入条件。工作量大,工期紧张且工 作强度相对较大,项目材料和设备要求较高,对项目承包商的能力和施工策划提出较高的 要求。
xx半导体有限公司是香港xx国际控股有限公司的全资子公司,成立于19xx年,在中 国广东省注册,注册资金为xxxx万美元。公司总部设在香港,生产基地位于中国广东省 xx市。在国内有70%的产品销售权。是一家知名的电子产品、半导体产品开发、生产和销 售的香港上市公司。
TFT面板项目由xx半导体有限公司投资,投资总额约x亿美金。建厂费用占总投资额 的14. 5%,。本项目产品为第2. 5代TFT-LCD面板,由阵列和成盒两道工 序组成,基板玻璃尺寸为550亳米X650亳米,月投片量为xxK,主要产品为手机使用的 彩色TFT显示屏。
本项目位于广东省xx市xx工业园区内,北临xx路,南靠工业大道,用地面积为14 万多m。本项目主要由生产主厂房、动力站、纯水站、大宗气体站、废水站、特殊药品仓 库等组成。其中主厂房洁净面积共一万两千平方米,洁净级别主要为十级、百级和干级。 19. L 2产品的工作原理及工艺流程:(1)产品工作原理
液晶显示屏是透过硅玻璃上的电路形成电场,来驱动玻璃与滤光片间的液晶分子,在 自然状态下呈并列平行排列,当电路对液晶层施加电场,液晶分子会朝不同的方向偏转, 这时液晶类似于开关作用可以让光线通过,令液晶层形成不同的透光效果,从而达到显示 不同画面的目的。(2)工艺流程:
阵列工艺流程:玻璃基板投入一基板清洗一栅极金属溅射一栅极光刻~n+a -硅/a - 硅/氮化硅层淀积一a -硅光刻一ITO膜溅射一ITO膜光刻一源/漏级金属溅射一源/漏级金 属光刻一n+ a -硅反刻一氮化硅淀积~绝缘层刻蚀一退火一检查
成盒工艺流程:投入阵列和滤光玻璃基板一配向膜印刷~框胶图敷、垫料一滴入液晶 ~真空贴合一盒分割一贴偏光片~检查19. 1. 3工程特点及主要工程量:
(1)工程特点:该工程机电系统复杂,净化厂房面积为1万二千平方米,净化级别 分别为十级、百级和千级,动力系统包括大宗气体、特种气体、工艺冷却水、工艺真空、 化学品等项目,生产厂房主体为框架结构,屋顶采用大跨度钢屋架结构。主体结构二层, 一层为设备工艺系统、一般排风和酸碱排风等,专业复杂,施工难度大。下夹层,主要由 生产车间工艺下夹层和辅助用房组成,二层为工作层,主要由生产车间、办公室等管理用 房组成。工程对抗微震的要求很高。
(2)该工程的主要工程量:本项目的主要建筑由生产主厂房、动力站房、纯水站房、 废水处理厂房、开关站及气体库房等组成。工程占地面积约14万多平方米,总建筑面积 约为5万多平方米。(3)本工程土建部分包括:结构、建筑和钢结构部分组成。
(4)机电部分包括:洁净室内装、洁净室空调系统、工艺排风系统、冷冻水系统、 热水锅炉系统、工艺冷却水系统、纯水系统、废水系统、压缩空气系统、氮气