文档介绍：ZYGO干涉仪使用指导书
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目的
制定本文件是为了详细说明如何便用ZYGO「•涉仪测量平而、球而、柱而元件的曲率半径、而形、以及透过波前，并提奇检验过程的准确性和可重笑性。
范围
本文件涉及用ZYGO于涉仪检测平而、球而、柱而元件的一般方法.
记录
在检验过程中将会生成以下记录：
干涉图
相关文件
与本文件相关的文件有：
待测零件图纸
定义
（application）一应用是ZYGO F涉仪中一系列功能的组合,保存为后缀名为“Fpp”的文件。不同的应用用于不同项目的测量•，测量。
（cateye）乂称为标准镜的像。标准镜的出射光在保点处被返回时出现的I渺条纹，是透过I：汲仪的光
线与和它对称的标准而之间的干涉图形。
从标准镜出射的光在整个零件表而彼原路反射冋来与标准面的反射光发生I渺产牛的「涉图
形。包含待测零件的表面或波询信息，是面形检测的主要信息来源。
町以升降的平台，帯有小倾角调"•功能，-般用于放置平面元件。
Align模式按下控制盒上的align view切换的2个模式之一，可以看到一个黑色固定的十字线和反射冋
干涉仪的光点，一般用于零件对准，特点是视场较大。
View模式按F控制盒上的alignview切换的2个模式Z—，可以看到I：涉条纹，特点是放人率较高，
。
干涉仪上使用的参考表面，用于生成理想的平面、球而波，作为测杲基准.
设定图像的长度基准，因为放大率不同或者屈光度不同，同样大小的F涉图所代表的零件大
■ 控制测量区域和设定掩膜。
（mask）农明「渺图中右效区域的匸具。町以根据需要设泄有效区域的形状、人小、位置，
也町以从有效区域中挖去一部分不需要的。
职责
品管部经理负贞保证过程实施所需的培训及资源
指定的优距仪使用者盂保证该过程按用序文件要求实施
工具、计量器具、测量设备
：
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ZYGO P涉仪，导轨，三爪卡盘，六维调整架，平面标准镜TF,各种规格的球面标准镜TS・村:丽标准镜
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CGH,标准平面反射镜,升降台

ZYGO于涉仪由主机，测长装趕导轨，电脑，控制盒四个主要部分组成。其中主机乂分为主机箱，移郴头和标准镜支架三部分。测长装置是参普勒双频激光测距仪，其中角锥（反射器）安装在导轨上的六维训整架上对以随着调整架上的镜片同步移动。

I渺仪软件MetroPro界面左边是各种功能按钮，仃些的作用是实现某种操作，仃些的点丿I：是一个窗口，右边是各种图形、数据、信息窗口。
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