文档介绍：2 / 5
Guiｄance iｎ ｄeｆｉning ｃriｔiｃａｌ proｃｅss pａrameteｒs
关键参数的定义指南
The crｉtｉcaｌitｙ ｏf ａ prｏceｓｓ ｐaｒａｍeteｒ iｓ an aｓｓessm ｎａrroweｒ ｔhaｎ ± siｘ ｓｔaｎｄaｒd dｅviaｔｉons.
测量的不确定性是探头或检测器的校验，监测器本身的变化和从探头到DＣＳ的信号传输的变化的不确定因素的综合。如果测量结果是正态分布的,３．４ＰPＭ(百万分之一）将在＋／－。这是六西格玛理论的基础。４．。基于六西格玛概念当一个参数的可接受的范围比＋／-六个标准偏差窄时,我们定义这个参数为关键参数。
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Whｅrｅａs ａ proveｎ ａcｃeptable raｎge depｅｎds only oｎ thｅ procesｓ, thｅ ｖａｒｉance oｆ ａ contrｏl ｓysｔeｍ is ｅquipmeｎt-spｅｃｉfｉc. The vａｒｉaｎce oｆ a ｃoｎtrol sysｔeｍ ｆｏr ｔhe samｅ pｒocess ｐａramｅｔeｒ mighｔ ｂｅ dｉffｅｒｅnｔ in aｎoｔｈer oｐeraｔiｏnaｌ enｖｉroｎment, whｉcｈ coｕlｄ rｅsｕlt iｎ ａ diｆferｅnt ｃriticaｌitｙ ａsseｓｓｍenｔ (. a ｃｒiｔｉcal prｏcｅss parametｅr in ｏne plａnt may be judｇed ｔo bｅ ｎｏn－critｉcaｌ iｎ aｎotｈer plant ｗｈich ｈaｓ a ｃontrol ｓｙsｔｅm ｗith a loｗｅｒ ｖａriａｎce）.
如果一个可接受的参数范围仅仅依赖于工艺,控制系统的变异是设备属性。对同样的工艺参数的控制系统的变异可能在另一个操作环境下不同,这个可能导致一个不同的关键性评估(比如在一个工厂的一个关键参数在另一个有较低变异的控制系统的工厂就可能被判定为不关键)
Tｈe ｆｏlloｗiｎg ｔaｂle caｎ be uｓｅd ｆoｒ ｇｕiｄanｃｅ to asｓｅｓs the crｉtiｃaliｔy of ａ process parａｍeter
以下列表在指南中用于评定一个工艺参数的关键性
typｅ ｏf proｃess parameter
工艺参数的类型
aｓsumｐtｉｏn ｆoｒ σ
ｍｉnimum PAR fｏr ｎon-cｒitiｃａl paraｍeter (± 6σ）
判定不关键的最小可接受范围
Ｃomｍent
备注
Ｔempｅraｔuｒｅ
温度
%
＋/－4% （oｆ meａsuｒemenｔ rａnｇe)
（检测范围的)
For ｔhe tyｐicａl ｍeasuｒeｍｅnt rａｎge oｆ -２０ to 1８０°C: +/－ ８°Ｃ
对于典型的测量范围－２0～18０°C,范围为+/－８°Ｃ
Ａmounｔ (quantiｔy） bｙ ｗｅiｇht
重量
％
+/－５％ (of seｔ ｐoiｎｔ