文档介绍：XPS 数据分析基本过
程
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XPS数据分析基本过程
定性分析
首先扫描全谱，由XPS 数据分析基本过
程
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XPS数据分析基本过程
定性分析
首先扫描全谱，由于荷电存在使结合能升高，因此要通过
兴趣的元素扫描高分辨谱，将所得结果与标准图谱对照，由结合能确定元素种类，由化学位移确定态，为了是结果准确在每一次扫描得结果分别进行荷电校正。 XPS谱图中化学位移的分析一般规律
1、原子失去价电子或因与电负性高的原子成键而显正电时，内层电子结合能升高。
2、原子获得电子而荷负电时，内层电子结合能减小。
3、氧化态越高，结合能越大。
4、价层发生某种变化时，所有内层电子化学位移相同。
5、对于XPS峰主量子数n小的壳层比n大的峰强，n相同的角量子数I大的峰强，n，l相同定量分析
选取最强峰的面积或强度作为定量计算的基础，多采用灵敏度因子法，因为各元素产生光电子和含量不一定成正比，从而利用灵敏度因子对强度进行修正，其做法为：以峰边、背景的切线交点景，计算峰面积或峰强，然后分别除以相应元素的灵敏度因子法，就可得到各元素的相对含量，这原子个数相对含量即摩尔相对含量。
XPS图谱的分峰处理
由于在制备过程中外界条件不可能完全均匀一致，因而对于同一元素可能存在不同的化学态，生的峰又有可能相互重叠，这样就对定性、定量分析带来了不便，因而在进行数据分析时需要对可峰进行分峰处理，目前有很多数据处理软件可以进行分峰运算，其原理都是利用高斯-洛沦兹函数 XPSpeak为一位台湾学者编写的程序，其采用图形用户界面（ GUI），用于XPS分峰处理操作方便
XPSpeak运行后其界面为：
Region 1
DaA邑 B^ckgrouDid Add Feak Far^nieleirs Optimise Regioa ReDispla
XPS $p As M X. ® / Y. \『
上面的窗口主要用于图形显示，即原始数据图谱、分离的峰、拟和的峰都将在此窗口中显示，
Data中选择打开的数据类型，由于不同的设备输出的数据格式不同，所以一般需要将原始数据转换在进行分峰处理前需要扣除背景，在 Backgrou nd菜单中选择扣除背景的参数；在 Add Peak菜单中数如峰位、峰面积、半峰宽等。